粒度分布測定装置のオートアライメント機構

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤本英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-241827
公開番号（公開出願番号）：特開平11-064205
出願日： 1997年08月21日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】光検出器を移動させることなく光軸の自動調整をおこなうことのできる構成が簡易でコンパクトな粒度分布測定装置のオートアライメント機構を提供する。【解決手段】光源1と、平行光束を発生させるための第1レンズ系2と、平行光束を集光させるための第2レンズ系7と、光検出器9とを具備し、光検出器9の受光面に光軸調整用のチェックパターンを設けると共に、光源1を光検出器9の受光面に対してXY軸方向に揺動操作するためのアクチュエータ4,5を設ける一方、予め設定・記憶させた光軸調整プログラムに従い、前記チェックパターンからの検出信号に基づいて、光軸11を調整するために光源1を揺動させるための制御信号をアクチュエータ4,5に送出する光軸調整処理部12を設けている。

請求項（抜粋）：

光源と、平行光束を発生させるための第1レンズ系と、平行光束を集光させるための第2レンズ系と、光検出器とを具備し、試料に光を照射させて発生した散乱光を前記光検出器で検出することにより得られる散乱光強度パターンに基づいて試料の粒度分布を測定するようにした散乱式の粒度分布測定装置のオートアライメント機構であって、前記光検出器の受光面に光軸調整用のチェックパターンを設けると共に、前記光源を前記光検出器の受光面に対してXY軸方向に揺動操作するためのアクチュエータを設ける一方、予め設定・記憶させた光軸調整プログラムに従い、前記チェックパターンからの検出信号に基づいて、前記光軸を調整するために前記光源を揺動させるための制御信号を前記アクチュエータに送出する光軸調整処理部を設けてなることを特徴とする粒度分布測定装置のオートアライメント機構。

引用特許：

審査官引用 (10件)

散乱式粒度分布測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-021933 出願人：株式会社堀場製作所
散乱式粒度分布測定装置における光軸調整方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-021932 出願人：株式会社堀場製作所
粒度分布測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-022259 出願人：株式会社小野測器

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