特許
J-GLOBAL ID：200903031912619204

ポジ型感光性組成物

発明者：
児玉 邦彦

児玉 邦彦 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-250452
公開番号（公開出願番号）：特開2003-057816
出願日： 2001年08月21日
公開日（公表日）： 2003年02月28日
要約：
【要約】【課題】 ラインのプロファイルが改善され、且つ保管時にパーティクルが発生し難いポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する特定の酸発生剤、(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
請求項（抜粋）：
(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する下記式(I)に示す酸発生剤、(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式(I)中、R1〜R5は、同じでも異なっていてもよく、水素原子、ニトロ基、ハロゲン原子又は置換基を有していてもよい、アルキル基、アルコキシ基、アルキルオキシカルボニル基、アリール基若しくはアシルアミノ基を表し、R1〜R5のうち少なくとも2つが結合して環構造を形成してもよい。但し、R1〜R5のうち少なくとも1つは水素原子ではなく、且つR1〜R5の炭素数の和は2以上である。R6及びR7は、同じでも異なっていてもよく、水素原子、シアノ基又は置換基を有していてもよい、アルキル基若しくはアリール基を表す。Y1及びY2は、同じでも異なっていてもよく、置換基を有していてもよい、アルキル基、アリール基、アラルキル基又はヘテロ原子を含む芳香族基を表し、Y1とY2とが結合して環を形成してもよい。R1〜R5の少なくとも1つとY1又はY2の少なくとも一つが結合して環を形成してもよい。R1〜R5の少なくとも1つとR6又はR7の少なくとも1つが結合して環を形成してもよい。また、R1〜R7のいずれか又はY1若しくはY2のいずれかの位置で、連結基を介して結合し、式(I)の構造を2つ以上有していてもよい。X-は、非求核性アニオンを表す。
IPC (3件)：
G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (15件)：
2H025AA03 ,  2H025AA11 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17
引用特許：
審査官引用 (6件)
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