特許
J-GLOBAL ID:200903031927397100

外観検査方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 堀田 実 ,  仲宗根 康晴 ,  野村 俊博
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-305226
公開番号(公開出願番号):特開2009-128261
出願日: 2007年11月27日
公開日(公表日): 2009年06月11日
要約:
【課題】検査対象物の各部分とカメラとの距離の相違に基づく遠近歪みを、検査対象物の外面形状に基づき精密に補正することができ、複数の画像を結合して1枚の平面画像に展開した場合でも、画像周辺の歪みを補正してパターンマッチング処理の誤差を大幅に低減でき、これにより精度の高い外観検査ができる外観検査方法および装置を提供する。【解決手段】検査対象物1の検査表面の3次元形状データ6とCCDカメラとの相対位置を予め入力するデータ入力ステップS1と、検査表面の全体を少なくとも一部を重複させて複数のCCDカメラ14で撮像して複数の画像4を取得する撮像ステップS2と、各画像の歪みを3次元形状データを基に補正して平面に展開し少なくとも一部が重複した複数の平面画像5を作成する画像補正ステップS3と、複数の平面画像の重複部分を結合して1枚の外面画像8を作成する画像結合ステップS4と、を有し、外面画像8により検査対象物の外観検査を行う。【選択図】図3
請求項(抜粋):
検査対象物の検査表面の3次元形状データとCCDカメラとの相対位置を予め入力するデータ入力ステップと、 前記検査表面の全体を、少なくとも一部を重複させて複数のCCDカメラで撮像して複数の画像を取得する撮像ステップと、 前記各画像の歪みを前記3次元形状データを基に補正して平面に展開し、少なくとも一部が重複した複数の平面画像を作成する画像補正ステップと、 前記複数の平面画像の重複部分を結合して1枚の外面画像を作成する画像結合ステップと、を有し、 該外面画像により検査対象物の外観検査を行う、ことを特徴とする検査対象物の外観検査方法。
IPC (6件):
G01N 21/88 ,  G06T 1/00 ,  G06T 3/00 ,  G01B 11/30 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/24
FI (7件):
G01N21/88 J ,  G06T1/00 300 ,  G06T3/00 200 ,  G06T1/00 400C ,  G01B11/30 A ,  G01B11/00 H ,  G01B11/24 K
Fターム (51件):
2F065AA15 ,  2F065AA20 ,  2F065AA49 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065BB06 ,  2F065BB08 ,  2F065EE08 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ38 ,  2F065SS09 ,  2F065SS13 ,  2F065UU05 ,  2G051AA16 ,  2G051AA21 ,  2G051AA26 ,  2G051AB08 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051EA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA23 ,  2G051EA30 ,  5B047AA07 ,  5B047AA11 ,  5B047BA08 ,  5B047BB04 ,  5B047BC14 ,  5B047BC23 ,  5B047DC20 ,  5B057AA02 ,  5B057BA13 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CA17 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CD12 ,  5B057CD14 ,  5B057CE10 ,  5B057DA08 ,  5B057DA16 ,  5B057DC16 ,  5B057DC33
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 画像歪補正方法及び装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-303939   出願人:株式会社日立製作所, 株式会社日立エンジニアリングサービス
審査官引用 (5件)
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