特許

J-GLOBAL ID：200903031935631716

走査型プローブ顕微鏡(SPM)用プローブの取り付け角度測定方法

発明者： 安武 正敏
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-312271
公開番号（公開出願番号）：特開2002-122529
出願日： 2000年10月12日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
要約：

【要約】【課題】 試料凹部側面の角度を事前に把握し、探針を選択することにより測定精度を向上させる。【解決手段】 探針1の試料面に対しての取り付け角度を算出するために、微小球1を標準試料としてその形状を前記走査型プローブ顕微鏡(SPM)を用いて測定し、そのSPM画像を解析することにより前記取り付け角度を算出するようにした。

請求項（抜粋）：

微細な探針で試料表面近傍を走査し、カンチレバーのたわみ信号あるいは微細な探針に流れる電流信号より試料表面の形状、物性情報を得る走査型プローブ顕微鏡のうち特に探針として細線あるいはカーボンナノチューブを使用する走査型プローブ顕微鏡の、前記探針の試料面に対しての取り付け角度を算出する測定方法であって、微小球を標準試料としてその形状を前記走査型プローブ顕微鏡(SPM)を用いて測定し、そのSPM画像を解析することにより前記取り付け角度を算出する測定方法。

IPC (2件)：

G01N 13/16 ,  G01B 21/30

FI (2件)：

G01N 13/16 C ,  G01B 21/30

Fターム (15件)：

2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069AA74 ,  2F069BB40 ,  2F069CC09 ,  2F069FF07 ,  2F069GG04 ,  2F069GG20 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069LL03 ,  2F069NN00 ,  2F069RR03 ,  2F069RR05

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 走査型プローブ顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-120640   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 探針先端形状評価用試料
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-136113   出願人：新日本製鐵株式会社
• AFMプローブ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-041196   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社