特許
J-GLOBAL ID：200903055320112731

探針先端形状評価用試料

発明者：
島ノ江 憲剛

島ノ江 憲剛 について

, 
世古口 麻紀

世古口 麻紀 について


出願人/特許権者：
新日本製鐵株式会社

新日本製鐵株式会社 について


代理人 (1件)： 矢葺 知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-136113
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005641
出願日： 1994年06月17日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】 触針式粗さ計、走査型トンネル顕微鏡、原子間力顕微鏡等に用いられる探針の先端形状を精度良く評価することができる試料を提供する。【構成】 本発明は、直径が2nm以上100nm以下である微粒子を平滑基板上に付着させることにより上記目的の試料を提供するものである。前記微粒子としては、金、シリカ、ポリスチレンラテックスのいずれかから選択して良い。また、前記平滑基板としてはへき開した単結晶、鏡面研磨した単結晶、鏡面研磨したガラスのいずれかから選択して良い。本発明試料を用い、その微粒子付着部位を原子間力顕微鏡や走査型トンネル顕微鏡等の方法で計測することによって得られるデータを所定の方法で解析することにより探針の先端形状をnmレベルの精度で正確に評価することができる。
請求項（抜粋）：
直径が2nm以上100nm以下である微粒子を平滑基板上に付着させたことを特徴とする探針先端形状評価用試料。
IPC (3件)：
G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G01B 7/34
引用特許：
審査官引用 (2件)

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