非接触非破壊材料評価方法及び装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：川井治男 (外1名) , 川井治男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-209234
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033490
出願日： 1995年07月25日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【課題】被検体上の広い範囲にわたって位相速度走査法による非接触非破壊材料評価方法及び装置を提供することを目的とする。【解決手段】レーザービーム熱源を超音波の位相速度で走査して単一モードの超音波を選択的に発生する位相速度走査(PVS)法の一環として、レーザーの走査干渉縞(SIF)で発生した試料内部に高い指向性で伝搬する高周波バルク超音波(縦波、横波)を用いた試料表面下の新しい非接触非破壊欠陥検出方法である。SIFは周波数の異なる2本のレーザービームB1,B2を試料12表面下で交差干渉させて発生する。バルク超音波の伝搬方向は、レーザーの入射角を変えることで簡単に制御可能である。試料12表面で発生したバルク超音波は表面下の欠陥で反射し、再び試料表面で工学的ナイフエッジ法等によって非接触で検出する。

請求項（抜粋）：

2本の周波数のわずかに異なる干渉性エネルギービームを被検体上で交差させて照射して、走査される干渉縞を生成し、この干渉縞の作用によって被検体表面に干渉縞間隔と同じ間隔を持つ歪み分布を形成することによって、前記被検体内部を伝搬する弾性波の音速と干渉縞の走査速度の比で決まる方向に前記弾性波を放射し、前記被検体の表面に設置したプローブ光によって前記表面からの出射するバルブ超音波を非接触検出し、前記被検体、前記干渉性エネルギービーム及び前記プローブ光のうちの少くとも一を走査することによって前記非接触検出の検出点を移動させることを特徴とする非接触非破壊材料評価方法。

IPC (3件)：

G01N 29/00 501 , G01N 29/20 501 , G01N 29/26 503

FI (3件)：

G01N 29/00 501 , G01N 29/20 501 , G01N 29/26 503

引用特許：

審査官引用 (4件)

弾性波の発生方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-355522 出願人：工業技術院長, 凸版印刷株式会社
特公平2-032578
特公平6-034007

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