特許
J-GLOBAL ID：200903031947400426

複合構造物作製方法および作製装置

発明者：
鳩野 広典

鳩野 広典 について

, 
伊藤 朋和

伊藤 朋和 について


出願人/特許権者：
東陶機器株式会社

東陶機器株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-197911
公開番号（公開出願番号）：特開2005-036255
出願日： 2003年07月16日
公開日（公表日）： 2005年02月10日
要約：
【課題】エアロゾルデポジション法による複合構造物作製において、原料微粒子粉体の表面の付着物を除去し、作製される構造物の強度の向上、不純物の混入の防止を行う。【解決手段】エアロゾルデポジション法によって複合構造物を形成させる場合に、プラズマ照射やマイクロ波照射により使用する微粒子の表面を予めクリーニングし、時間をかけて活性化処理する。引き続いてこの微粒子をエアロゾル化し、基材に向けて噴射することで基材上に微粒子の構成材料からなる構造物を作製する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
脆性材料の微粒子に減圧雰囲気にてプラズマ照射またはマイクロ波照射などのエネルギー照射を行う工程と、次いでこのエネルギー照射を行った脆性材料の微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを基材に向けてノズルより噴射して、前記エアロゾルを前記基板表面に衝突させ、この衝突の衝撃によって前記微粒子を破砕・変形させて接合させ、前記微粒子の構成材料からなる構造物を前記基材上に形成させる工程からなる複合構造物の作製方法。
IPC (4件)：
C23C26/00 ,  B01J19/08 ,  B01J19/12 ,  C23C24/04
FI (4件)：
C23C26/00 E ,  B01J19/08 F ,  B01J19/12 G ,  C23C24/04
Fターム (21件)：
4G075AA24 ,  4G075BC10 ,  4G075CA15 ,  4G075CA26 ,  4G075CA47 ,  4G075CA62 ,  4G075CA80 ,  4G075DA02 ,  4G075EB01 ,  4G075EC01 ,  4G075EC21 ,  4G075ED02 ,  4G075ED15 ,  4K044AA01 ,  4K044AA12 ,  4K044AA13 ,  4K044AA16 ,  4K044BA11 ,  4K044BB11 ,  4K044CA29 ,  4K044CA41
引用特許：
審査官引用 (3件)

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