特許

J-GLOBAL ID：200903031991671860

ホトレジスト溶液の送液方法および容器の交換方法

発明者： 増渕 公則
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (1件)： 小山 有 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-201409
公開番号（公開出願番号）：特開2000-035173
出願日： 1998年07月16日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】【課題】 半導体ウェーハやガラス基板にホトレジストを塗布する塗装ユニットへ容器からホトレジスト溶液を詰まりなく送液する。【解決手段】 ホトレジスト溶液の送液管経路に、送液管7の内径とほぼ同じ内径を確保した液入口側プラグ10および液出口側プラグ11を取付け、これらプラグ相互の係合・離脱を、係合部分を覆う筒状本体12と、この筒状本体12内周の両端近辺に保持したボールと、これらボール制御用の2つのスリーブ13,14にて行う。

請求項（抜粋）：

容器内のホトレジスト溶液を送液管を介して塗布ユニットへ送る送液方法において、前記送液管の途中には管継手が設けられ、この管継手は、筒状本体内と、この筒状本体内で嵌合する液入口側プラグ及び液出口側プラグと、これら液入口側プラグ及び液出口側プラグを筒状本体に対して着脱自在に保持すべく筒状本体の外周に軸方向にスライド可能に設けられたスリーブとからなることを特徴とするホトレジスト溶液の送液方法。

Fターム (16件)：

3J106AB01 ,  3J106BA01 ,  3J106BB01 ,  3J106BC04 ,  3J106BD01 ,  3J106BE29 ,  3J106BE40 ,  3J106CA01 ,  3J106EA03 ,  3J106EB07 ,  3J106EC02 ,  3J106EC07 ,  3J106ED32 ,  3J106EE13 ,  3J106EF05 ,  3J106EF06

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 塗布装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-115065   出願人：ソニー株式会社
• 管継手
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-022111   出願人：東陶機器株式会社
• 処理液供給装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-043276   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社