特許
J-GLOBAL ID：200903032139633134
研磨層の検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-327616
公開番号（公開出願番号）：特開2005-091264
出願日： 2003年09月19日
公開日（公表日）： 2005年04月07日
要約：
【課題】 研磨用パッドの研磨層の検査方法において、非破壊検査で内部および/または表面に内包された異物および/または不均一性の検査方法を提供する。 【解決手段】 保持された研磨層若しくは研磨パッドに対して、放射線を照射し、透過した放射線の状態から研磨層の良否を判定することで、非破壊で内部および/または表面に内包された異物および/または不均一性の検査を行なうことができる。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
研磨層若しくは研磨層を具備した研磨パッドを保持し、該研磨層若しくは研磨パッドに放射線を照射し、透過した放射線の状態から研磨層の良否を判定する研磨層の検査方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
2G051AA90
, 2G051AB01
, 2G051AB02
, 2G051CA11
, 2G051CB02
