特許

J-GLOBAL ID：200903032171225820

ブレード監視装置

発明者： 後藤 篤志
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 小野 尚純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-176890
公開番号（公開出願番号）：特開2002-370140
出願日： 2001年06月12日
公開日（公表日）： 2002年12月24日
要約：

【要約】【課題】 半導体ウエーハのごとき被加工物を切断するのに用いられるブレード監視装置において、ブレードの回転速度、切り刃部のスリットの数等に影響されることなく、確実に切り刃部の欠け、摩耗等を検出できるようにする。【解決手段】 切り刃部の一側からの投光を他側で受光し受光量に応じた電気信号を出力する光学的検出手段と、その電圧信号を欠けを規定する「しきい値」としての電圧値、あるいは摩耗を規定する「許容電圧値」と比較して、欠け、摩耗等を判定する判定手段とを備える。

請求項（抜粋）：

所定の回転速度で回転されるブレードの複数個のスリットの形成された切り刃部に一側から投光し他側で受光した光量に応じ電気信号を出力する光学的検出手段と、該電気信号の判定手段とを備え、該判定手段は、受光量の変動に応じ変化する該電気信号の電圧値の最大値が、欠けのないブレードにおける受光量を基に設定された電圧値であるしきい値を超えたとき、該ブレードに欠けがあると判定し破損信号を出力する、ことを特徴とするブレード監視装置。

IPC (4件)：

B23Q 17/09 ,  B23Q 17/24 ,  B26D 7/27 ,  H01L 21/301

FI (4件)：

B23Q 17/09 C ,  B23Q 17/24 B ,  B26D 7/27 ,  H01L 21/78 F

Fターム (4件)：

3C029AA26 ,  3C029AA40 ,  3C029DD04 ,  3C029DD20

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-141702
  
• ダイシング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-342516   出願人：株式会社日立製作所, 日立北海セミコンダクタ株式会社
• ブレード位置検出装置及びその信頼性の判定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-209625   出願人：株式会社東京精密
• 特開平4-232407