特許
J-GLOBAL ID:200903032280807243
再溶解性酸架橋型高分子及び該高分子と光酸発生剤とを組み合わせた感光性樹脂組成物
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
宮本 晴視
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-034613
公開番号(公開出願番号):特開2001-226430
出願日: 2000年02月14日
公開日(公表日): 2001年08月21日
要約:
【要約】【目的】 酸性雰囲気において架橋(硬化)し、該架橋化合物が比較的低温の加熱により除去容易な化学構造の化合物に分解する特性を有する新規なホモ又は共重合体である再溶解性酸架橋型高分子化合物【構成】 末端の酸性雰囲気で架橋を形成する化学構造を有する化学基、該基と直結する3級炭素及び該3級炭素と直結するエステル結合の又はアリール基と直結するエーテル結合の酸素とから構成される化学構造を側鎖の構成単位の少なくとも一部として含むホモ又は共重合体である再溶解性酸架橋型高分子化合物
請求項(抜粋):
末端の酸性雰囲気で架橋を形成する化学構造を有する化学基、該基と直結する3級炭素及び該3級炭素と直結するエステル結合の又はアリール基と直結するエーテル結合の酸素とから構成される化学構造を側鎖の構成単位の少なくとも一部として含むホモ又は共重合体である再溶解性酸架橋型高分子化合物。
IPC (6件):
C08F 20/28
, C08F 2/48
, C08F 20/38
, C08F 30/08
, C08J 3/24
, G03F 7/038 505
FI (6件):
C08F 20/28
, C08F 2/48
, C08F 20/38
, C08F 30/08
, C08J 3/24 Z
, G03F 7/038 505
Fターム (49件):
2H025AA04
, 2H025AB15
, 2H025AB16
, 2H025AC04
, 2H025AC08
, 2H025AD01
, 2H025CB14
, 2H025CB16
, 2H025CB17
, 2H025CB41
, 2H025CB51
, 2H025FA39
, 4F070AA18
, 4F070AA32
, 4F070AA74
, 4F070AA77
, 4F070AA78
, 4F070AC33
, 4F070AC45
, 4F070AC50
, 4F070AC65
, 4F070AC66
, 4F070AE08
, 4F070CA04
, 4J100AB02Q
, 4J100AB07P
, 4J100AB07Q
, 4J100AE82P
, 4J100AG08Q
, 4J100AL02Q
, 4J100AL08P
, 4J100AL74P
, 4J100AM14Q
, 4J100BA02P
, 4J100BA03Q
, 4J100BA04Q
, 4J100BA15P
, 4J100BA16Q
, 4J100BA20Q
, 4J100BA22P
, 4J100BA22Q
, 4J100BA77P
, 4J100BC43P
, 4J100BC53P
, 4J100BC54P
, 4J100BC83P
, 4J100CA01
, 4J100CA04
, 4J100JA37
引用特許:
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