特許
J-GLOBAL ID:200903032309271585
製造プロセスにおける操業と品質の関連分析装置、関連分析方法及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
矢葺 知之
, 津波古 繁夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-208481
公開番号(公開出願番号):特開2004-054420
出願日: 2002年07月17日
公開日(公表日): 2004年02月19日
要約:
【課題】操業結果として品質が決まる製造プロセス全般において、複数の操業因子が品質に与える影響を分析することを可能とする。【解決手段】プロセス操業データ及び品質データを基に、正規化された操業データを基底ベクトルとする操業データ空間を複数の局所領域に分割し、各局所領域における重み関数を導出し、この重み関数を用いて局所領域近傍の外部データも取り込んだヒストグラムを作成する。このヒストグラムに基づいた累積度数を評価し、ある閾値以上の累積度数が得られた領域に対してのみ確率分布計算を行う。重み関数導出から、確率分布評価までの一連の処理を全ての局所領域に対して行うことで、各局所領域に相当する操業範囲での品質の評価を行い、更に操業条件の変更に対する品質の推移を分析する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
製造プロセスにおける操業および品質データを解析して、複数の操業因子と品質の関連性を分析する操業分析装置であって、
プロセスの操業データ及び品質データを入力するデータ入力手段と、
前記データ入力手段によって入力された操業データの全ての操業因子について、操業データを同一の範囲内に規格化するデータ正規化処理手段と、
正規化されたプロセス操業データを基底ベクトルとする操業データ空間を複数の局所領域に分割する操業データ空間分割手段と、
前記操業データ空間分割手段によって得られた各局所領域において、その局所領域に対する各データの重要度を決定する為の重み関数を導出する重み関数算出手段と、
前記重み関数算出手段により導出した重み関数と、前記データ入力手段によって入力された操業および品質データとを用いて、各局所領域における品質データ値のヒストグラムを算出する度数分布算出手段と、
前記度数分布算出手段によって得られたヒストグラムに基づいて各局所領域における累積度数を算出し、与えられた累積度数判定閾値との大小関係を判定する累積度数判定手段と、
前記累積度数判定手段にて、累積度数が閾値以上と判定された局所領域に対して、前記度数分布算出手段により得られたヒストグラムに基づいて、各局所領域の確率分布を決定する確率分布計算手段と、
前記重み関数算出手段から前記確率分布計算手段にて実行される一連の処理が、前記操業データ空間分割手段にて得られた全ての局所領域に対して行われたかを判定する反復回数判定手段と、
解析結果を提示する為の解析結果表示手段を備えたことを特徴とする操業と品質の関連分析装置。
IPC (6件):
G05B19/418
, B22D11/16
, G06F17/15
, G06F17/17
, G06F17/18
, G06F17/60
FI (6件):
G05B19/418 Z
, B22D11/16 Z
, G06F17/15
, G06F17/17
, G06F17/18 D
, G06F17/60 106
Fターム (9件):
3C100AA62
, 3C100BB27
, 3C100EE10
, 4E004MC30
, 5B056BB51
, 5B056BB64
, 5B056BB81
, 5B056HH00
, 5B056HH01
引用特許: