特許
J-GLOBAL ID:200903032327726204
半導体試験装置用パターン発生器
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-224535
公開番号(公開出願番号):特開平11-064469
出願日: 1997年08月21日
公開日(公表日): 1999年03月05日
要約:
【要約】【課題】 比較的低コストでサブルーチンやジャンプやループ等の命令を含むパターンを高速に発生し融通性や拡張性に富む半導体試験装置用パターン発生器。【解決手段】 複数のサブ・PG群及びPGセレクタとTTBとを制御するメイン・シーケンサと、補助パターンを発生するTTBより成る主要PG部と、メイン・シーケンサにより制御される、複数のサブ・SQPGと複数のサブ・ALPGと複数のサブ・AUXPGとから成るサブ・PG群と、いずれかのサブ・PGで生成したパターン信号を選択してパターン信号を出力するPGセレクタから成る従属PG部と、TTBからの補助パターン信号とPGセレクタからのパターン信号との論理和をとりパターン信号を出力するオア回路とを具備したパターン発生器。
請求項(抜粋):
DUTへの試験パターンとパターン比較器への期待値パターンとを生成する半導体試験装置のパターン発生器において、従属PG部の複数のサブ・PG群及びPGセレクタとTTBとを制御するメイン・シーケンサと、メイン・シーケンサにより制御され補助パターンを発生するTTBと、より成る主要PG部と、メイン・シーケンサにより制御されシーケンシャル・パターンを発生する複数のサブ・SQPGと、メイン・シーケンサにより制御されアルゴリズム・パターンを発生する複数のサブ・ALPGと、メイン・シーケンサにより制御されその他のパターンを発生する複数のサブ・AUXPGとから成るサブ・PG群と、メイン・シーケンサにより制御されサブ・PG群のいずれかのサブ・PGの出力信号を選択してパターン信号を出力するPGセレクタと、より成る従属PG部と、主要PG部のTTBからの補助パターン信号と従属PG部のPGセレクタからのパターン信号との論理和をとりパターン信号を出力するオア回路と、を具備することを特徴とする半導体試験装置用パターン発生器。
引用特許:
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