露光装置における位置合わせ誤差補正方法および該方法を用いた露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡部正夫 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-168967
公開番号（公開出願番号）：特開平10-022190
出願日： 1996年06月28日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：

【要約】【目的】露光装置における基板の位置補正等の際に用いて有効な補正パラメータ決定方法を提供する。【構成】基板の複数のアライメントマークの位置を測定して所定の座標系における該測定された複数のアライメントマークの座標位置のデータを取得し、得られた複数のデータを、該データを補正する少なくとも1つの補正パラメータを含む関数により変換することにより補正された位置座標データを求め、前記補正された複数の座標位置データとそれぞれの設計上の座標位置との偏差のうちの最大の偏差が略最小となるように前記補正パラメータを決定する。

請求項（抜粋）：

基板の複数のマークの位置を測定して所定の座標系における該測定された複数のアライメントマークの座標位置のデータを取得し、得られた複数のデータを、該データを補正する少なくとも1つの補正パラメータを含む関数により変換することにより補正された位置座標データを求め、前記補正された複数の座標位置データとそれぞれの設計上の座標位置との偏差のうちの最大の偏差が略最小となるように前記補正パラメータを決定することを特徴とする基板の位置合わせ誤差補正方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 9/00 , H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/30 525 W , G03F 9/00 H , H01L 21/68 G , H01L 21/30 516 B

引用特許：

審査官引用 (4件)

露光方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-149278 出願人：株式会社ニコン
特開昭62-007129
位置合わせ方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-230834 出願人：株式会社東芝

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