特許
J-GLOBAL ID：200903032355824955
電子ビーム式連続蒸着装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-191617
公開番号（公開出願番号）：特開平7-109571
出願日： 1994年08月15日
公開日（公表日）： 1995年04月25日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、蒸着の際に高分子フィルム上に生じる負の帯電状態を連続的に除去し、蒸着膜の均一性及び緻密性の向上を図る。【構成】 プラズマの陽イオン密度を制御するイオン密度制御指令に基づいて、蒸着膜に対向するようにプラズマを形成し、蒸着膜における負の帯電状態を陽イオンに中和させて除去する帯電状態除去手段(49,54,58,60)と、この帯電状態除去手段を通過した蒸着膜の帯電状態を検出する帯電状態検出手段(50,61)と、この帯電状態検出手段による検出結果が所定の帯電状態よりも負電位を示すとき、プラズマの陽イオン密度を高めるようにイオン密度制御指令を帯電状態除去手段に送出する帯電状態制御手段(62)とを備えた電子ビーム式連続蒸着装置。
請求項（抜粋）：
真空中で蒸発材料に電子ビームを照射して前記蒸発材料を蒸発させると共に、巻出ローラから連続的に巻き出されて前記蒸発材料に対向配置されるように走行する高分子フィルムを巻取ローラで巻き取ることにより、前記高分子フィルムの表面に前記蒸発材料の蒸着膜を形成する電子ビーム式連続蒸着装置において、プラズマの陽イオン密度を制御するイオン密度制御指令に基づいて、前記蒸着膜に対向するようにプラズマを形成し、前記蒸着膜における負の帯電状態を前記陽イオンに中和させて除去する帯電状態除去手段と、この帯電状態除去手段を通過した前記蒸着膜の帯電状態を検出する帯電状態検出手段と、この帯電状態検出手段による検出結果が所定の帯電状態よりも負電位を示すとき、前記プラズマの陽イオン密度を高めるように前記イオン密度制御指令を前記帯電状態除去手段に送出する帯電状態制御手段とを備えたことを特徴とする電子ビーム式連続蒸着装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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