走査形電子顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-306650
公開番号（公開出願番号）：特開2000-133191
出願日： 1998年10月28日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：

【要約】【課題】複数の記録媒体を有する走査電子顕微鏡において、正確な画像出力領域を効率よく指定して装置の使い勝手を向上する。【解決手段】試料像を記録する外部記録装置の種類に応じて決定される記録領域を、前記表示装置に表示される試料像に重ねて表示する手段を設ける。【効果】任意の出力媒体に対して、出力画像の領域を明確に指定でき、さらに、倍率も必要な画像に対して正確に表示されるため、オペレータの意図する正確な出力視野を効率よく選択し記録することができる。

請求項（抜粋）：

電子源と、当該電子源から放出される一次電子線を照射して得られた二次信号に基づいて試料像を表示する表示装置を備えた走査形電子顕微鏡において、前記試料像を記録する外部記録装置の種類に応じて決定される記録領域を、前記表示装置に表示される試料像に重ねて表示する手段を備えたことを特徴とする走査形電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/22 502 , H01J 37/22

FI (2件)：

H01J 37/22 502 B , H01J 37/22 502 C

引用特許：

審査官引用 (5件)

イオンマイクロビーム装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-020974 出願人：株式会社日立製作所
透過形電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-219592 出願人：株式会社日立製作所, 株式会社日立サイエンスシステムズ
特開昭58-073949

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