特許
J-GLOBAL ID:200903032495896336

キャビティ内の粒子検出装置および方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-042623
公開番号(公開出願番号):特開平10-002856
出願日: 1997年02月26日
公開日(公表日): 1998年01月06日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 粒子のキャビティ内検出を可能する装置および方法の提供。【解決手段】 レーザー媒体11内に配置されたレーザー媒体11は、光ポンプ源19により端面励起されて、レーザー媒体11を起動して、レーザーキャビティ13内にレーザー光を供給する。同様にレーザーキャビティ内に配置された検出領域29は内部に粒子または粒子含有流体を保有可能であり、レーザー光にさらされる。光は、検出領域内29の粒子により散乱などされ、散乱光は0.05ないし10ミクロの微小粒子のような粒子を示しており、散乱光が集められると、散乱光は、検出領域29での粒子を示す出力を供給するのに使用できる。レーザーキャビティ13は、内部に固体レーザー媒体11を備えており、このレーザー媒体は、利得開口調整を達成するようレーザー媒体に焦点が合った光を供給する半導体により端面励起される。
請求項(抜粋):
レーザキャビティと、光ポンプ源と、前記光ポンプ源により励起されて前記レーザーキャビティ内にレーザー光を送るレーザー媒体と、内部に粒子をもつことができる検出領域とを、含み、前記検出領域の光が前記検出領域における少なくとも前記粒子の検出可能部分により所定の方式で影響を受けて、前記影響を及ぼされた光が前記粒子の検出可能部分を示すように前記検出領域が前記レーザーキャビティ内と前記レーザー光の経路におかれていることを特徴とするキャビティ内の粒子検出装置。
IPC (3件):
G01N 21/53 ,  G01N 15/00 ,  G01N 15/14
FI (3件):
G01N 21/53 Z ,  G01N 15/00 A ,  G01N 15/14 P
引用特許:
審査官引用 (12件)
  • 特公平6-058318
  • 特公平6-058318
  • 光計測装置および光学的計測方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平3-204153   出願人:株式会社日立製作所
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引用文献:
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