特許
J-GLOBAL ID：200903032559650344

音叉型圧電振動片及びその製造方法、圧電デバイス

発明者：
菊島 正幸

菊島 正幸 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 梅田 明彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-043236
公開番号（公開出願番号）：特開2004-007428
出願日： 2003年02月20日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：
【解決手段】音叉型水晶振動片14は、振動腕16a、16bの長手方向、幅方向及び厚み方向を水晶結晶軸のY軸、X軸及びZ軸に対応して配向させた水晶ウエハをウエットエッチングして、長手方向溝18a、18bを振動腕主面に中心線C1を振動腕の中心線C2に関して-X方向にずらして設け、振動腕幅方向の左右スチフネスをバランスさせ、振動腕の屈曲運動を安定させる。音叉型圧電振動片の製造工程でフォトマスクの位置ずれ等で生じた振動腕上下主面17a、17bの幅方向の位置ずれは、振動腕の幅方向の断面を厚み方向に2等分した上側及び下側部分の重心M1、M2が主面に垂直な同一直線L上に整合するべく、溝18a、18bの相対位置を幅方向にずらして調整し、励振時に振動腕の厚み方向変位を解消・抑制して、振動漏れによる歪みエネルギの損失を防止する。【効果】CI値の抑制による高性能化、及び高い性能安定性の実現。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
所定の向きにエッチング異方性を有する圧電材料で形成され、 基部から延出する1対の振動腕と、 前記各振動腕の表裏主面に設けられる第1電極及びその側面に設けられる第2電極からなる駆動電極とを有し、 前記振動腕の少なくとも一方の前記主面には、該振動腕の長手方向に沿って延長する溝が、幅方向にその中心線を前記振動腕の中心線に関して前記エッチング異方性の所定の向きとは反対側にずらして設けられ、かつ、 前記少なくとも一方の前記主面に設けられる前記第1電極が、前記溝の側面に形成される電極膜からなることを特徴とする音叉型圧電振動片。
IPC (5件)：
H03H9/215 ,  H01L41/09 ,  H01L41/22 ,  H03H3/02 ,  H03H9/19
FI (5件)：
H03H9/215 ,  H03H3/02 D ,  H03H9/19 K ,  H01L41/08 C ,  H01L41/22 Z
Fターム (21件)：
2F105BB01 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  5J108AA06 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC09 ,  5J108CC11 ,  5J108CC12 ,  5J108DD05 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108FF01 ,  5J108GG03 ,  5J108JJ01 ,  5J108JJ04 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108MM11 ,  5J108MM14
引用特許：
審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM