特許
J-GLOBAL ID：200903032678632206
微細触針の破損防止機構
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
蔵合 正博 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-149349
公開番号（公開出願番号）：特開2002-340544
出願日： 2001年05月18日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：
【要約】【課題】 触針と測定対象の接触方向によらず、触針破損や寿命短縮を防止できるような破損防止機構およびその制御方法を提供すること。【解決手段】 微細触針のホルダを微動アクチュエータに取り付け、前記微細触針がその軸方向に測定対象と接触する際、微細触針が座屈しないよう触針を引き上げて接触から逃がすこと、さらに、座屈の恐れがないときには接触から逃がさないようにする。そして、微細触針のホルダをその軸方向に変位させるようなアクチュエータに取り付け、さらに、触針が接触を検知すると同時に、そのアクチュエータを急速に縮めることにより、微細触針に制御的なコンプライアンスを与え、座屈・変形することを防止する。
請求項（抜粋）：
片持ち梁構造からなる微細触針と微細形状をもった測定対象を相対運動させ、両者の接触を検出することにより微細形状を測定する微細形状測定装置において、前記微細触針を前記測定対象から離脱する方向に変位させて前記微細触針の保護を行うアクチュエータと、前記微細触針と前記測定対象の相対移動速度ベクトルを求める速度ベクトル算出器を備え、前記速度ベクトル算出器において、前記微細触針と前記測定対象の相対接近速度が一定値を下回る場合は、前記アクチュエータの保護動作を行わないことを特徴とする微細触針の破損防止機構。
Fターム (6件)：
2F069AA66
, 2F069DD01
, 2F069GG01
, 2F069HH01
, 2F069JJ19
, 2F069LL01
