特許
J-GLOBAL ID：200903032723004742

微小電気機械素子の駆動方法及び微小電気機械素子アレイの駆動方法、微小電気機械素子及び微小電気機械素子アレイ、並びに画像形成装置

発明者：
荻窪 真也

荻窪 真也 について

, 
中村 博親

中村 博親 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (5件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  矢澤 清純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-008881
公開番号（公開出願番号）：特開2007-192902
出願日： 2006年01月17日
公開日（公表日）： 2007年08月02日
要約：
【課題】可動部の振動をアクティブに減少させることのできる微小電気機械素子の駆動方法を提供し、スイッチング動作を高速化させる。【解決手段】弾性変位可能に支持された可動部27を備え、該可動部27が物理作用により変位する際に発生する振動を抑制する微小電気機械素子100の駆動方法であって、可動部27へ物理作用力を加える少なくとも1つ以上の駆動部35a,35bにより、可動部27の物理作用力による変位終了位置となる少なくとも1つ以上の定位点に向けて可動部27を駆動する場合に、可動部27に対して、該可動部27の変位開始から定位点に到達するまでの第1の期間はその定位点に到達するときの速度を略ゼロとする第1の物理作用力を連続的に常時与え、定位点到達後の第2の期間は可動部27を定位点に定位させるための第2の物理作用力を与えるようにした。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
弾性変位可能に支持された可動部を備え、該可動部が物理作用により変位する際に発生する振動を抑制する微小電気機械素子の駆動方法であって、 前記可動部へ物理作用力を加える少なくとも1つ以上の駆動部により、前記可動部の前記物理作用力による変位終了位置となる少なくとも1つ以上の定位点に向けて前記可動部を駆動する場合に、 前記可動部に対して、該可動部の変位開始から前記定位点に到達するまでの第1の期間は前記定位点に到達するときの速度を略ゼロとする第1の物理作用力を連続的に常時与え、前記定位点到達後の第2の期間は前記可動部を前記定位点に定位させるための第2の物理作用力を与えることを特徴とする微小電気機械素子の駆動方法。
IPC (4件)：
G09G 3/34 ,  G02B 26/08 ,  G09G 3/20 ,  H02N 1/00
FI (5件)：
G09G3/34 D ,  G02B26/08 E ,  G09G3/20 621F ,  G09G3/20 680C ,  H02N1/00
Fターム (17件)：
2H041AA14 ,  2H041AA16 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ06 ,  5C080AA18 ,  5C080BB05 ,  5C080CC06 ,  5C080DD08 ,  5C080DD12 ,  5C080FF07 ,  5C080FF11 ,  5C080GG12 ,  5C080JJ02 ,  5C080JJ04 ,  5C080JJ06
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特開平2-7014号公報
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM