特許
J-GLOBAL ID：200903049392390949

光変調素子アレイの駆動方法及び光変調素子アレイ並びに画像形成装置

発明者：
木村 宏一

木村 宏一 について

, 
中村 博親

中村 博親 について

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福永 敏明

福永 敏明 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について


代理人 (5件)： 小栗 昌平 ,  本多 弘徳 ,  市川 利光 ,  高松 猛 ,  濱田 百合子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-086537
公開番号（公開出願番号）：特開2005-309414
出願日： 2005年03月24日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：
【課題】 振動鎮静化時間中であっても誤動作を起こさずにアドレス電圧の書込みが可能となる光変調素子アレイの駆動方法及び光変調素子アレイ並びに画像形成装置を得、駆動サイクルを短縮する。【解決手段】 可動電極を備えた可動部と、可動部に対峙した固定電極とを有し、静電気力によって可動部を変位させ、可動部に入射された光を変調する光変調素子が一次元又は二次元に配列されてなり、光変調素子のそれぞれがメモリ回路を含む駆動回路を有し、電極のうち一方が駆動回路からの素子変位信号を書き込む電極であり、他方が制御電圧Vbを印加する電極である光変調素子アレイ100の駆動方法であって、駆動回路からの変位信号を電極のいずれかが受け、可動部が最終移動先に到達してから、駆動回路が次の変位信号をそのいずれかの電極へ出力するまでの間に、前記電極のうちいずれかの電極に対する印加電圧を制御して、可動部を最終移動先に定位させるようにした。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
弾性変位可能に支持され少なくとも一部に可動電極を備えた可動部と、該可動部に対峙して配置され前記可動部をそれぞれ異なる方向に変位させる第1、第2の固定電極とを有し、前記可動電極と前記第1、第2の固定電極との間への電圧印加により発生する静電気力によって前記可動部を変位させ、該可動部に入射された光を変調する微小電気機械方式の光変調素子が一次元又は二次元に配列されてなり、前記光変調素子のそれぞれがメモリ回路を含む駆動回路を有し、前記可動電極と前記固定電極のうちいずれか一方が前記駆動回路からの素子変位信号を書き込む電極であり、他方が制御電圧を印加する電極である光変調素子アレイの駆動方法であって、 前記駆動回路からの変位信号を前記電極のいずれかが受け、前記可動部が最終移動先に到達してから、前記駆動回路が次の変位信号をそのいずれかの電極へ出力するまでの間に、前記電極のうちいずれかの電極に対する印加電圧を制御して、前記可動部を前記最終移動先に定位させることを特徴とする光変調素子アレイの駆動方法。
IPC (4件)：
G02B26/08 ,  G03B21/00 ,  G09G3/20 ,  G09G3/34
FI (5件)：
G02B26/08 E ,  G03B21/00 F ,  G09G3/20 670E ,  G09G3/20 680C ,  G09G3/34 D
Fターム (23件)：
2H041AA04 ,  2H041AA05 ,  2H041AA11 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ05 ,  2K103AA07 ,  2K103AB10 ,  2K103BB10 ,  5C080AA17 ,  5C080BB05 ,  5C080DD07 ,  5C080DD08 ,  5C080DD09 ,  5C080FF12 ,  5C080GG11 ,  5C080GG15 ,  5C080JJ02 ,  5C080JJ03 ,  5C080JJ04 ,  5C080JJ05 ,  5C080JJ06 ,  5C080KK43
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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