特許
J-GLOBAL ID：200903032746645435
ウエハ検出用センサヘッドの取付構造
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後呂 和男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-135902
公開番号（公開出願番号）：特開2002-329766
出願日： 2001年05月07日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：
【要約】【課題】 薄型のハンドに接着剤を用いることなくセンサヘッドを取り付けることの可能なウエハ検出用センサヘッドの取付構造を提供する。【解決手段】 ハンド13には、ウエハを載置するウエハ載置部14と、これに連なる支持部15とが設けられ、その上面に収容部21が設けられている。センサヘッド29は、ハンド13におけるウエハ載置部14の領域から支持部15の領域にわたるような形状をなして収容部21内に収容され、ウエハ載置部14側にウエハを検出する検知電極部33を備え、支持部15側に支持部15にねじ止め固定されるねじ止め部35を備えている。これにより、ねじ止めする部位に必要な厚さを確保する一方で、ウエハ載置部14の厚さを小さくすることができる。また、接着剤を用いないので、前記したガスの発生や材質の相性を心配せずに済む。
請求項（抜粋）：
ウエハを搬送するためのハンドにウエハの検出を行うセンサヘッドを取り付けるウエハ検出用センサヘッドの取付構造であって、前記ハンドは、前記ウエハを載置するウエハ載置部と、このウエハ載置部に連なる支持部とを備えている一方、前記センサヘッドは、前記ハンドにおける前記ウエハ載置部の領域から前記支持部の領域にわたるような形状をなすと共に、前記ウエハ載置部側には前記ウエハを検出する検知電極部を設け、前記支持部側にはこの支持部にねじ止めされるねじ止め部を設けたことを特徴とするウエハ検出用センサヘッドの取付構造。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 19/02
, B65G 49/07
H01L 21/68 A
, H01L 21/68 L
, B25J 19/02
, B65G 49/07 E
3C007AS00
, 3C007AS14
, 3C007AS24
, 3C007KS06
, 3C007KS08
, 3C007KS30
, 3C007KV04
, 3C007KW06
, 3C007KX07
, 3C007MT04
, 3C007NS13
, 5F031CA02
, 5F031FA01
, 5F031FA11
, 5F031GA36
, 5F031JA09
, 5F031JA22
