特許
J-GLOBAL ID：200903032748446707

表面検査装置

発明者：
笹井 昌年

笹井 昌年 について


出願人/特許権者：
株式会社メガトレード

株式会社メガトレード について


代理人 (1件)： 久留 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-255186
公開番号（公開出願番号）：特開2006-071453
出願日： 2004年09月02日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：
【課題】一台のカメラ装置を用いながら、三次元形状をなす検査対象物の表面画像を正確に取得でき、精密な検査を行うことのできる検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】対向する側面21と底面20とからなる凹部2に光を照射する照射装置30と、当該照射装置30から照射された光のうち前記検査対象物の底面20及び側面21で反射された光を一台のカメラ装置31で取得し、当該取得した画像に基づいて前記凹部2の各面の形成状態を検査する表面検査装置1において、側面21からの反射光を反射させてカメラ装置31に入射させるための第一の光路40と、底面20からの反射光をカメラ装置31に入射させるための第二の光路41の光路長をそれぞれ同一に設定する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
三次元形状をなす検査対象物の異なる面に光を照射する照射装置と、当該照射装置から照射された光のうち前記検査対象物の異なる面で反射された光を一台のカメラ装置で取得し、当該取得した画像に基づいて前記各面の形成状態を検査する表面検査装置において、 前記検査対象物の各面からのカメラ装置までの反射光の光路長を同一に設定したことを特徴とする表面検査装置。
IPC (1件)：
G01B 11/30
FI (1件)：
G01B11/30 A
Fターム (19件)：
2F065AA49 ,  2F065BB05 ,  2F065DD03 ,  2F065EE05 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065GG02 ,  2F065GG07 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL12 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065SS15 ,  2F065UU01
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 側面検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-342231   出願人：シーシーエス株式会社
審査官引用 (7件)
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