特許
J-GLOBAL ID：200903032771001380
透明導電膜のパターニング方法および透明電極付き基体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-176899
公開番号（公開出願番号）：特開平10-020320
出願日： 1996年07月05日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：
【要約】【課題】低比抵抗の透明導電膜を容易に、しかも精度よくパターニングできる方法と該方法により得られる透明電極付き基体の提供。【解決手段】基体1上に、アルカリ溶液または有機溶媒に可溶なレジストを用いて所望のパターンを形成した後に、透明酸化物層2と金属層3とがこの順に交互に(2n+1)層積層されてなる透明導電膜を形成し、その後、アルカリ溶液あるいは有機溶媒によりパターニングする。
請求項（抜粋）：
基体上に、透明酸化物層と金属層とがこの順に交互に(2n+1)層(n≧1)積層されてなる透明導電膜のパターニング法において、基体上に、アルカリ溶液または有機溶媒に可溶なレジストを用いて所望のパターンを形成した後に、前記透明導電膜を形成し、その後、アルカリ溶液あるいは有機溶媒により該透明電導膜の不要な部分をレジストごと剥離することを特徴とする透明導電膜のパターニング方法。
IPC (5件)：
G02F 1/1343
, C23F 1/00
, G02B 5/20 101
, H01L 21/28 301
, H01L 21/306
G02F 1/1343
, C23F 1/00 A
, G02B 5/20 101
, H01L 21/28 301 Z
, H01L 21/306 F
