特許
J-GLOBAL ID：200903032792383437
電極の短絡防止方法および短絡防止板
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
千葉 博史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-297001
公開番号（公開出願番号）：特開2007-107030
出願日： 2005年10月11日
公開日（公表日）： 2007年04月26日
要約：
【課題】多結晶シリコンの製造反応炉に設置された電極まわりの液滴の流下を阻止し、液滴の析出と堆積による短絡を防止する。【解決手段】多結晶シリコンの製造反応炉に設置された電極に板材を装着し、該板材が電極まわりに張り出すように設けることを特徴とする電極の短絡防止方法、および、側方に開口する凹部を有する板材によって形成されており、該凹部が電極の軸まわりに装入されることによって該板材が電極まわりに張り出して装着され、電極まわりの液滴の流下を阻止することを特徴とする電極の短絡防止板。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
多結晶シリコンの製造反応炉に設置された電極に板材を装着し、該板材が電極まわりに張り出すように設けることによって、電極まわりの液滴の流下を阻止し、液滴の析出と堆積による短絡を防止することを特徴とする電極の短絡防止方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C23C16/44 J
, C23C16/24
, C23C16/44 A
4K030AA06
, 4K030BA29
, 4K030BB03
, 4K030FA10
, 4K030KA12
, 4K030KA14
出願人引用 (2件)
-
特許第2867306号公報
-
多結晶シリコン棒製造用化学的蒸気析着方式
公報種別：公表公報
出願番号：特願2000-538947
出願人：アドバンスドシリコンマテリアルズリミテツドライアビリテイカンパニー
審査官引用 (3件)
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