特許

J-GLOBAL ID：200903032874509455

紫外レーザ光用光学材の製造方法

発明者： 小松 ▲隆▼一 ,  菅原 保 ,  高橋 正訓
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-382569
公開番号（公開出願番号）：特開2002-226297
出願日： 1996年09月30日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：

【要約】【課題】 高出力の紫外レーザ光を損傷することなく高い透過率で透過可能であって、熱伝導率が良好で割れにくく、カラーセンタが発生せず、曇りのない紫外レーザ光用光学材を得る。【解決手段】 チョクラルスキー法により四ほう酸リチウム融液から四ほう酸リチウム単結晶を引上げるに際して、四ほう酸リチウム融液表面とこの融液直上10mmの間の第1温度勾配を50〜150°C/cmとし、この融液直上10mmより上部の第2温度勾配を第1温度勾配より小さい5〜50°C/cmとしてこの単結晶の直胴部を0.1〜2mm/時間の引上げ速度で引上げる。

請求項（抜粋）：

チョクラルスキー法により四ほう酸リチウム融液から四ほう酸リチウム単結晶を引上げて前記単結晶から紫外レーザ光用光学材を製造する方法において、前記四ほう酸リチウム融液表面と前記融液直上10mmの間の第1温度勾配を50〜150°C/cmとし、前記融液直上10mmより上部の第2温度勾配を前記第1温度勾配より小さい5〜50°C/cmとして前記単結晶の直胴部を0.1〜2mm/時間の引上げ速度で引上げることを特徴とする紫外レーザ光用光学材の製造方法。

IPC (6件)：

C30B 29/22 ,  C30B 15/00 ,  C30B 15/20 ,  G02B 1/02 ,  H01S 3/034 ,  H01S 3/225

FI (6件)：

C30B 29/22 C ,  C30B 15/00 Z ,  C30B 15/20 ,  G02B 1/02 ,  H01S 3/03 G ,  H01S 3/223 E

Fターム (10件)：

4G077AA02 ,  4G077BD07 ,  4G077CF10 ,  4G077EH06 ,  4G077EH09 ,  4G077PA10 ,  4G077PF51 ,  5F071AA06 ,  5F071FF07 ,  5F071JJ03

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 単結晶四ほう酸リチウムの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-131702   出願人：三菱マテリアル株式会社
• 四硼酸リチウム結晶の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-030081   出願人：株式会社ジャパンエナジー