加速度センサ及び加速度センサの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：長谷川芳樹 , 寺崎史朗 , 青木博昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-294013
公開番号（公開出願番号）：特開2007-101448
出願日： 2005年10月06日
公開日（公表日）： 2007年04月19日
要約：

【課題】正確な加速度を検出することが可能な加速度センサ及び加速度センサの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】加速度センサC1は、圧電素子2と、圧電素子2の表面に形成された第1,第2外部電極4,5と、を備える。圧電素子2は、基板部8と、第1〜第3圧電体層30,18,14と、おもり部10とを有する。第1圧電体層30の第1領域30aは、圧電素子2の積層方向に対して垂直な方向に分極されている。第2圧電体層18の第2領域18aは、圧電素子2の積層方向に分極されている。第3圧電体層14の第3領域14aは、圧電素子2の積層方向に分極されると共に、第2領域18aの分極を打ち消す方向に分極されている。更に、第3領域14aは、第2領域18aと比べて圧電素子2の積層方向から付与される荷重が小さくなるように構成されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

圧電素子と、前記圧電素子の表面に沿って形成された外部電極と、を備える加速度センサであって、前記圧電素子は、基体部と、第1圧電体層、第2圧電体層、及び第3圧電体層と、前記第1、第2、及び第3圧電体層それぞれを挟むように積層されて前記外部電極に接続される内部電極と、を有し、前記第1〜第3圧電体層及び前記内部電極は、前記基体部上に形成されており、前記第1圧電体層において、当該第1圧電体層を挟む前記内部電極と重なる第1領域は、前記圧電素子の積層方向に対して垂直な方向に分極されており、前記第2圧電体層において、当該第2圧電体層を挟む前記内部電極と重なる第2領域は、前記圧電素子の積層方向に分極されており、前記第3圧電体層において、当該第3圧電体層を挟む前記内部電極と重なる第3領域は、前記第2領域の分極を打ち消す方向に分極されており、前記第3領域に付与される荷重が前記第2領域に付与される荷重と比べて小さいことを特徴とする加速度センサ。

IPC (4件)：

G01P 15/09 , H01L 41/08 , H01L 41/22 , H01L 41/187

FI (4件)：

G01P15/09 B , H01L41/08 Z , H01L41/22 Z , H01L41/18 101D

引用特許：

出願人引用 (1件)

実開平1-112468号公報

審査官引用 (5件)

加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-406670 出願人：株式会社村田製作所
加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-073708 出願人：NECトーキン株式会社
特開平1-107162

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引用文献：

審査官引用 (1件)

「セラミック工学ハンドブック」,1版2刷, 19930530, p.1762-1763

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