特許
J-GLOBAL ID:200903051689771652

加速度センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 筒井 秀隆
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-406670
公開番号(公開出願番号):特開2005-164505
出願日: 2003年12月05日
公開日(公表日): 2005年06月23日
要約:
【課題】片持ち構造の検出素子を持つ加速度センサにおいて、加速度の印加によって検出素子に発生する異なる極性の電圧を取り出す電極を、それぞれケース部材の両端部へ確実に引き出すこと。【解決手段】加速度センサ1Aは、複数の圧電セラミックス層を積層した検出素子2と、検出素子2の長さ方向一端部の主表面を異方性導電性接着剤16を介して接着挟持する一対のケース部材10,11とを備える。検出素子2の内部電極3は検出素子の基端部まで引き出され、ケース部材の一端部端面および検出素子の基端部端面に連続的に形成された一方の外部電極6と電気的に接続される。検出素子2の表面電極5a,5bは検出素子の基端部の手前で終端となり、ケース部材の内側面に形成された内面電極10d,11dと異方性導電性接着剤16によって電気的に接続される。内面電極はケース部材の他端部端面に形成された外部電極7と接続される。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
複数の圧電セラミックス層を積層した検出素子と、この検出素子の長さ方向一端部の主表面を異方性導電性接着剤を介して接着挟持する一対のケース部材とを備え、 上記検出素子は各セラミックス層の層間および主表面に電極を持ち、 加速度の印加によって上記検出素子に発生する第1の極性の電圧を取り出す電極は、検出素子の基端部まで引き出され、上記ケース部材の一端部端面および検出素子の基端部端面に連続的に形成された一方の外部電極と電気的に接続され、 上記加速度の印加によって上記検出素子に発生する第2の極性の電圧を取り出し、かつ上記検出素子の少なくとも一方の主表面に設けられた電極は、検出素子の基端部の手前で終端となり、 上記検出素子の少なくとも一方の主表面に設けられた電極は、この電極と対面するケース部材の内側面に形成された内面電極と上記異方性導電性接着剤によって電気的に接続され、 上記ケース部材の内面電極は上記外部電極とは異なるケース部材の他の部位に形成された他方の外部電極と電気的に接続されていることを特徴とする加速度センサ。
IPC (3件):
G01P15/09 ,  G01P15/08 ,  H01L41/08
FI (3件):
G01P15/09 D ,  G01P15/08 P ,  H01L41/08 Z
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 加速度センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-209833   出願人:株式会社村田製作所
審査官引用 (5件)
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