特許
J-GLOBAL ID:200903013649423040
加速度センサ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
筒井 秀隆
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-146096
公開番号(公開出願番号):特開2003-337140
出願日: 2002年05月21日
公開日(公表日): 2003年11月28日
要約:
【要約】【課題】自由長や厚みを変更せずに、発生エネルギーを大幅に増加させ、高感度な加速度センサを得ること。【解決手段】加速度センサ1Aは、検出素子2と、検出素子2の長さ方向一端部を支持する支持部材10,11とを備える。検出素子2は4層の圧電体層2a〜2dを積層したものであり、検出素子2の厚み方向中心、第1層と第2層との間、および第2層の外表面とにそれぞれ電極3、4a,4b、5a,5bを有する。厚み方向中心を間にして両側の第1層2a,2cと第2層2b,2dとで形成されるセルが電気的に並列に接続される。厚み方向で両側の第1層同士および第2層同士はそれぞれ同じ厚みに形成され、第1層と第2層の合計厚みT2 に対し、第1層の厚みT1 の比率が62〜76%とされている。
請求項(抜粋):
検出素子と、この検出素子の長さ方向一端部、両端部または中央部を支持する支持部材とを備え、上記検出素子は4層の圧電セラミックよりなる圧電体層を積層したものであり、上記圧電体層は厚み方向中心から外側に向かってそれぞれ第1層と第2層とを有し、上記検出素子の厚み方向の中心、第1層と第2層との間、および第2層の外表面とにそれぞれ電極が設けられ、厚み方向中心を間にして同一側の第1層と第2層とで形成されるセルが電気的に並列に接続され、厚み方向で両側の第1層同士および第2層同士はそれぞれ同じ厚みに形成され、第1層と第2層の合計厚みに対し、第1層の厚みの比率が62〜76%とされていることを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件):
FI (2件):
G01P 15/09 D
, H01L 41/08 Z
引用特許:
審査官引用 (12件)
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加速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-216207
出願人:株式会社トーキン
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加速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-154070
出願人:松下電器産業株式会社
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加速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-213889
出願人:株式会社村田製作所
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積層型セラミック電子デバイス及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-248113
出願人:松下電器産業株式会社
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多層型圧電アクチュエータ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-122225
出願人:ソニー株式会社
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加速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-316237
出願人:松下電器産業株式会社
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圧電型加速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-000477
出願人:株式会社トーキン
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加速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-261022
出願人:株式会社トーキン
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加速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-178323
出願人:ザウィタカーコーポレーション, 株式会社メガセラ
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圧電センサの製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-243488
出願人:松下電器産業株式会社
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圧電共振子
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-294491
出願人:株式会社村田製作所
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加速度センサ及び加速度検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-297146
出願人:株式会社村田製作所
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