特許

J-GLOBAL ID：200903032954949790

磁界センサユニット

発明者： 藪上 信 ,  荒井 賢一 ,  小澤 哲也 ,  今江 理人 ,  花土 ゆう子
出願人/特許権者： 国立大学法人東北大学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-324855
公開番号（公開出願番号）：特開2005-091156
出願日： 2003年09月17日
公開日（公表日）： 2005年04月07日
要約：

【課題】分解能が10-7Oe以上のオーダーの高感度を達成し得る磁界センサユニットを提供する。【解決手段】分配器2によって分配された第1の繰り返し信号はそれぞれ、MIセンサ素子3並びに減衰器及び位相シフタ4に入力される。分配器6によって分配された第2の繰り返し信号の一方と、MIセンサ素子3からの出力信号とが、ミキサ7で混合され、分配された第2の繰り返し信号の他方と、減衰器及び位相シフタ4からの出力信号とが、ミキサ8で混合される。ミキサ7,8から出力された信号は、ローパスフィルタ9,10によって所定の周波数以下の成分のみが通過される。時間間隔カウンタ13は、信号波形aによって示されるような増幅器11の出力信号と、信号波形bによって示されるような増幅器12の出力信号との位相差Δを時間差として計測することによって、磁界が検出される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

所定の周波数を有する第1の繰り返し信号を発生する第1の信号発生手段と、 その第1の繰り返し信号を二つに分配する第1の分配手段と、 その第1の分配手段によって分配された第1の繰り返し信号のうちの一方が入力される、磁気インピーダンス効果を有するMIセンサ素子と、 前記第1の分配手段によって分配された第1の繰り返し信号のうちの他方が、入力され、減衰され及び位相シフトされる減衰及び位相シフト手段と、 前記第1の繰り返し信号とは異なる周波数を有する第2の繰り返し信号を発生する第2の信号発生手段と、 その第2の繰り返し信号を二つに分配する第2の分配手段と、 前記第2の分配手段によって分配された第2の繰り返し信号の一方と、前記MIセンサ素子からの出力信号とを混合する第1の混合手段と、 前記第2の分配手段によって分配された第2の繰り返し信号の他方と、前記減衰及び位相シフト手段からの出力信号とを混合する第2の混合手段と、 前記第1の混合手段から出力された信号のうちの所定の周波数以下の成分のみを通過する第1の低域通過手段と、 前記第2の混合手段から出力された信号のうちの所定の周波数以下の成分のみを通過する第2の低域通過手段と、 前記第1の低域通過手段からの出力信号と前記第2の低域通過手段からの出力信号との位相差を時間差として計測することによって、磁界を検出する磁界検出手段とを具えることを特徴とする磁界センサユニット。

IPC (1件)：

G01R33/02

FI (1件)：

G01R33/02 D

Fターム (2件)：

2G017AA01 ,  2G017AD51

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 磁気インピーダンス効果素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-323816   出願人：新技術事業団
• 磁気センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-200981   出願人：株式会社トーキン
• 積層型磁界検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-041766   出願人：株式会社豊田中央研究所

審査官引用 (3件)

• 磁気センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-376714   出願人：日立金属株式会社
• 特開平3-293581
  
• 特開平3-293581