特許
J-GLOBAL ID：200903032963779385

静電チャック

発明者：
亀山 亮介

亀山 亮介 について


出願人/特許権者：
日本特殊陶業株式会社

日本特殊陶業株式会社 について


代理人 (1件)： 加藤 和久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-081323
公開番号（公開出願番号）：特開2005-268654
出願日： 2004年03月19日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：
【目的】 金属製ベース部材内を通り、静電チャック板の表面に開口されるガス流路のある静電チャックで、吸着したウエハの下面にそのガス流路から冷却ガスを供給して、プラズマ発生用の電極をなす金属製ベース部材に交流電流を印加する際に、ウエハと静電チャックとの間で発生することのある異常放電を防ぐ。【構成】 金属製ベース部材21内におけるガス流路の壁面に、セラミック製の管状体31を内挿して固定した。ガス流路は、その内面に、絶縁材層(セラミック層)が設けられたことになり、金属製ベース部材21をなす金属が露出しない。このため、ここを通過するガスは、プラズマ発生のための交流電圧が同ベース部材21に印加されても励起されないため高電位とならず、異常放電を防止できる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
絶縁材製の静電チャック板と、プラズマ発生用の電極をなす金属製ベース部材とを接合してなる静電チャックであって、 前記金属製ベース部材内を貫通して前記静電チャック板の表面に開口するガス流路を有するものにおいて、 前記金属製ベース部材内におけるガス流路の壁面に絶縁材層を形成したことを特徴とする静電チャック。
IPC (3件)：
H01L21/68 ,  B25J15/00 ,  H02N13/00
FI (3件)：
H01L21/68 R ,  B25J15/00 Z ,  H02N13/00 D
Fターム (12件)：
3C007AS24 ,  3C007FS10 ,  3C007FT10 ,  3C007FU09 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA16 ,  5F031HA38 ,  5F031HA39 ,  5F031MA28 ,  5F031MA31
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 静電チャック
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-011081   出願人：日本碍子株式会社
審査官引用 (3件)

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