清浄空間保持装置、フォトマスク基板の搬送方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺喜平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-125685
公開番号（公開出願番号）：特開2004-335552
出願日： 2003年04月30日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：

【課題】清浄空間保持装置において、収納体の開放部から外気が入り込むことを抑制し、収納体の内部空間を清浄な状態に保持する。【解決手段】内部に基板Kが収納される収納体10を有するとともに、収納体10の内部空間を清浄な状態に保持する清浄空間保持装置であって、収納体10の側面部に形成され、基板Kの出し入れ口となる開放部12と、収納体10の上方から清浄な空気を送り込む気流発生手段20と、気流発生手段20から送り込まれた空気を収納体10の下方へ排気する排気手段30と、開放部12付近の気流を収納体10の外側へ方向付ける風向調整手段(風向調整板50など)とを備える。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

内部に物体が収納される収納体を有するとともに、前記収納体の内部空間を清浄な状態に保持する清浄空間保持装置であって、前記収納体の側面部に形成され、前記物体の出し入れ口となる開放部と、前記収納体の上方から清浄な空気を送り込む気流発生手段と、前記気流発生手段から送り込まれた空気を前記収納体の下方へ排気する排気手段と、前記開放部付近の気流を前記収納体の外側へ方向付ける風向調整手段と、を備えることを特徴とする清浄空間保持装置。

IPC (3件)：

H01L21/68 , B65D85/86 , G03F1/14

FI (4件)：

H01L21/68 T , H01L21/68 A , G03F1/14 M , B65D85/38 R

Fターム (34件)：

2H095BE12 , 3E096AA03 , 3E096AA06 , 3E096AA13 , 3E096BA15 , 3E096BA20 , 3E096BB03 , 3E096CA02 , 3E096CA09 , 3E096CB03 , 3E096DA01 , 3E096DA25 , 3E096DA30 , 3E096FA03 , 3E096FA08 , 3E096FA15 , 3E096FA16 , 3E096FA19 , 3E096FA26 , 3E096FA27 , 3E096FA40 , 5F031CA05 , 5F031CA07 , 5F031DA08 , 5F031EA14 , 5F031GA57 , 5F031MA23 , 5F031MA24 , 5F031MA26 , 5F031MA27 , 5F031MA33 , 5F031NA02 , 5F031NA16 , 5F031PA18

引用特許：

審査官引用 (7件)

移送・保管キャリア
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-006822 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
特開昭60-166554
搬送車
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-313503 出願人：株式会社豊田自動織機製作所

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