特許
J-GLOBAL ID：200903033044290490
薄膜磁気ヘッド及び磁気ディスク装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-146395
公開番号（公開出願番号）：特開平10-334412
出願日： 1997年06月04日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】絶縁膜の内部応力による基板の反りを低減することのできる磁気ヘッドを提供する。【解決手段】基板17上に、順に、第1の絶縁膜9、磁気記録再生素子90、91、第2の絶縁膜3を備える。第1および第2の絶縁膜9、3の少なくとも一方は、内部応力が引張り応力の膜7を含んでいる。通常、磁気ヘッドの絶縁膜は、圧縮応力であるため、引張り応力の膜7と他の部分の圧縮応力の膜とが拮抗し、基板の反りを低減できる。
請求項（抜粋）：
基板上に、順に、第1の絶縁膜、磁気記録再生素子、第2の絶縁膜を備え、前記第1および第2の絶縁膜の少なくとも一方は、内部応力が引張り応力の膜を含んでいることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
FI (2件)：
G11B 5/31 G
, G11B 5/31 H
