特許
J-GLOBAL ID:200903033107016040
光学式計測装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
飯塚 信市
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-062752
公開番号(公開出願番号):特開2002-357408
出願日: 2002年03月07日
公開日(公表日): 2002年12月13日
要約:
【要約】【課題】 例えば、表面反射率が相違したり、表面に溝が存在したり、表面に傾斜面が存在したり、表面に曲面が存在するような計測対象物に対しても、高精度な断面輪郭線計測が可能なスリット光切断法を使用した光学式計測装置を提供すること。【解決手段】 撮影条件の異なる複数枚の画像を取得するマルチ画像取得手段と、マルチ画像取得手段により取得された複数枚の画像の中から、予め設定された区画領域毎に、規定の最大輝度条件を満足する区画領域画像を抽出すると共に、それら抽出された各区画領域画像を寄せ集めることにより一連の断面輪郭線部分像を含む合成画像を生成する画像合成手段と、画像合成手段により生成された合成画像に含まれる一連の断面輪郭線部分像に基づいて、所定の計測処理を実行することにより計測値及び/又は判定値を生成する。
請求項(抜粋):
光源からの光をスリット光に整形して計測対象物体表面に所定角度で照射する投光手段と、前記計測対象物体表面のスリット光照射位置を前記スリット光の照射角度とは異なる角度から二次元撮像素子により撮影して光切断面の断面輪郭線像を含む画像を取得する撮影手段と、前記撮影手段を介して得られる画像の輝度に影響を与える撮影条件を規定するパラメータの少なくとも1つの値を変更することにより画像の輝度を走査可能なパラメータ値変更手段とを備えて、前記撮影条件の異なる複数枚の画像を取得するマルチ画像取得手段と、マルチ画像取得手段により取得された複数枚の画像の中から、予め設定された区画領域毎に、規定の最大輝度条件を満足する区画領域画像を抽出すると共に、それら抽出された各区画領域画像を寄せ集めることにより一連の断面輪郭線部分像を含む合成画像を生成する画像合成手段と、前記画像合成手段により生成された合成画像に含まれる一連の断面輪郭線部分像に基づいて、所定の計測処理を実行することにより計測値及び/又は判定値を生成する計測手段と、を具備する光学式計測装置。
IPC (5件):
G01B 11/25
, G01B 11/00
, G01B 11/24
, G06T 1/00 300
, G06T 7/60 180
FI (5件):
G01B 11/00 H
, G06T 1/00 300
, G06T 7/60 180 B
, G01B 11/24 E
, G01B 11/24 K
Fターム (28件):
2F065AA06
, 2F065AA52
, 2F065BB05
, 2F065FF04
, 2F065HH05
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ08
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065QQ24
, 2F065QQ29
, 2F065QQ31
, 2F065UU05
, 5B057AA04
, 5B057BA12
, 5B057BA15
, 5B057BA19
, 5B057BA30
, 5B057CH01
, 5B057CH11
, 5B057DA03
, 5B057DC16
, 5B057DC22
, 5L096CA02
, 5L096CA14
, 5L096FA06
, 5L096FA66
引用特許:
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