特許

J-GLOBAL ID：200903033133157485

アクティブマトリクス基板の欠陥修正方法および液晶パネルの製造方法

発明者： 土肥 徹也
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-160239
公開番号（公開出願番号）：特開2000-347217
出願日： 1999年06月07日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：

【要約】【課題】 補助容量部のピンホール欠陥による上部電極と下部電極との短絡欠陥をアクティブマトリクス基板の状態で修正する。【解決手段】 共通信号配線3または走査配線(下部電極)と絶縁膜7と絵素電極5(上部電極)とで構成される補助容量部において、絶縁膜7のピンホール12により下部電極と上部電極との短絡が生じている場合に、光エネルギーを照射して短絡欠陥部12周辺の上部電極部分13を除去する。対向基板との貼り合わせ前のアクティブマトリクス基板の状態で欠陥修正を行うので、ガラス基板やカラーフィルタ形成部の屈折率や透過率の影響、液晶配向への影響等がなく、後工程に不良品が流れない。発振波長が360nm以下の紫外線である短波長レーザー、例えばYAGレーザーの第4高調波を用いれば、下層膜に影響を与えずに短絡欠陥周辺部の上部電極のみを精度良く除去することができる。

請求項（抜粋）：

複数の走査配線および複数の信号配線が互いに交差するように設けられていると共に、両配線の交差部近傍に設けられたスイッチング素子を介して両配線と接続された絵素電極が設けられ、さらに、該絵素電極の下層に絶縁膜を介して該絵素電極と一部重畳するように複数の共通信号配線が設けられて、重畳部の共通信号配線部分を下部電極とし、該重畳部の絵素電極部分を上部電極とする補助容量部が構成されているアクティブマトリクス基板において、該上部電極と該下部電極との短絡欠陥が生じている場合に欠陥を修正する方法であって、短絡欠陥部に任意の光エネルギーを照射して該短絡欠陥部周辺の上部電極を除去するアクティブマトリクス基板の欠陥修正方法。

IPC (3件)：

G02F 1/1365 ,  G09F 9/00 352 ,  H01L 29/786

FI (3件)：

G02F 1/136 500 ,  G09F 9/00 352 ,  H01L 29/78 612 A

Fターム (45件)：

2H092JA26 ,  2H092JA29 ,  2H092JA35 ,  2H092JA42 ,  2H092JA44 ,  2H092JB13 ,  2H092JB23 ,  2H092JB32 ,  2H092JB33 ,  2H092JB38 ,  2H092JB58 ,  2H092JB63 ,  2H092JB64 ,  2H092JB72 ,  2H092KA16 ,  2H092KA18 ,  2H092MA47 ,  2H092NA18 ,  2H092NA25 ,  2H092NA29 ,  2H092NA30 ,  2H092PA06 ,  2H092QA07 ,  5F110AA27 ,  5F110BB01 ,  5F110DD02 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110NN73 ,  5F110QQ30 ,  5G435AA00 ,  5G435AA14 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435CC09 ,  5G435EE33 ,  5G435EE41 ,  5G435HH12 ,  5G435KK05 ,  5G435KK09 ,  5G435KK10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• アクティブマトリクス基板の欠陥修正方法及び修正装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-327925   出願人：シャープ株式会社
• 液晶表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-028188   出願人：株式会社アドバンスト・ディスプレイ