特許

J-GLOBAL ID：200903033201497281

金属的カーボンナノチューブの分離方法ならびに半導体的カーボンナノチューブ薄膜の製造方法ならびに薄膜トランジスタおよびその製造方法ならびに電子素子およびその製造方法

発明者： 黄 厚金
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 森 幸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-219845
公開番号（公開出願番号）：特開2007-031238
出願日： 2005年07月29日
公開日（公表日）： 2007年02月08日
要約：

【課題】 簡便な方法で金属的カーボンナノチューブを半導体的カーボンナノチューブから効率的に分離することができる方法およびこの方法を用いた半導体的カーボンナノチューブ薄膜の製造方法を提供する。 【解決手段】 半導体的カーボンナノチューブと金属的カーボンナノチューブとの混合物を液体中に分散させ、金属的カーボンナノチューブを粒子と選択的に結合させ、粒子と結合した金属的カーボンナノチューブを除去することにより、金属的カーボンナノチューブを半導体的カーボンナノチューブから分離する。得られる半導体的カーボンナノチューブを用いて基板上に半導体的カーボンナノチューブ薄膜を形成する。この半導体的カーボンナノチューブ薄膜をチャネル材料に用いてカーボンナノチューブTFTを作製する。【選択図】 図9

請求項（抜粋）：

半導体的カーボンナノチューブと金属的カーボンナノチューブとの混合物を液体中に分散させる工程と、 上記金属的カーボンナノチューブを粒子と選択的に結合させる工程と、 上記粒子と結合した上記金属的カーボンナノチューブを除去する工程と を有することを特徴とする金属的カーボンナノチューブの分離方法。

IPC (2件)：

C01B 31/02 ,  H01L 29/786

FI (2件)：

C01B31/02 101F ,  H01L29/78 618B

Fターム (15件)：

4G146AA11 ,  4G146AC03B ,  4G146AD30 ,  4G146BA04 ,  4G146CA01 ,  4G146CA15 ,  4G146CB17 ,  5F110AA05 ,  5F110AA30 ,  5F110CC01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110GG01 ,  5F110GG42

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 電子素子、集積回路およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-280374   出願人：富士ゼロックス株式会社

審査官引用 (5件)

• イネ病原体を防除するための殺菌混合物
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2006-516007   出願人：ビーエーエスエフアクチェンゲゼルシャフト
• カーボンナノチューブデバイスおよびその製造方法、並びに、カーボンナノチューブの精製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-374712   出願人：富士ゼロックス株式会社
• カーボンナノチューブ膜、層、ファブリック、リボン、素子及び製品を製造するために予備成形ナノチューブを使用する方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2003-588004   出願人：ナンテロ,インク.
• 電子素子、集積回路およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-280374   出願人：富士ゼロックス株式会社
• カーボンナノチューブの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-256048   出願人：東レ株式会社