特許
J-GLOBAL ID：200903033203245425
窒素元素とガリウム元素を含む粉末の製造方法、およびそれを利用した窒化ガリウム単結晶の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-103184
公開番号（公開出願番号）：特開2008-174439
出願日： 2007年04月10日
公開日（公表日）： 2008年07月31日
要約：
【課題】窒化ガリウム単結晶を製造するための原料となりうる粉末の従来より簡便で安全な製造方法を提供する。【解決手段】窒素化合物の存在下にて金属ガリウム粉末またはガリウム化合物粉末を粉砕することによって、窒素元素とガリウム元素を含む粉末を製造する。雰囲気をアンモニアガスとし、ガリウム化合物粉末として塩化ガリウム粉末を用いてもよい。また、非酸素雰囲気下で、ガリウム化合物粉末とアルカリ金属の窒化物粉末を粉砕してもよい。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
窒素化合物の存在下にて金属ガリウム粉末またはガリウム化合物粉末を粉砕する工程を含むことを特徴とする、窒素元素とガリウム元素を含む粉末の製造方法。
IPC (4件)：
C30B 29/38
, C30B 7/10
, H01L 33/00
, H01S 5/323
C30B29/38 D
, C30B7/10
, H01L33/00 C
, H01S5/323 610
4G077AA02
, 4G077BE15
, 4G077CB03
, 4G077EC02
, 4G077HA02
, 4G077HA06
, 4G077HA12
, 4G077KA01
, 4G077KA03
, 5F041CA40
, 5F041CA67
, 5F173AH22
, 5F173AP30
