特許
J-GLOBAL ID：200903033220168108
LCD用レーザアニール装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-264190
公開番号（公開出願番号）：特開平10-112443
出願日： 1996年10月04日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：
【要約】【課題】 LCD用多結晶シリコンの結晶化及び活性化処理に用いるレーザアニール装置に関し、異なる二工程用の専用チャンバを備え、各チャンバ専用の移動可能な光学系を設けることによりチャンバを小さくすることができ、レーザ光の発振装置を効率的に使用することができるLCD用レーザアニール装置の提供を目的とする。【解決手段】 レーザ光を出射する一台の発振装置1と、このレーザ光を独立した二つの光学系に切り換える分岐ミラー4と、この二つの光学系を設置する光学系支持板11a,11b と、光学系支持板11a,11b をそれぞれ独立してレーザ光と直交する方向に移動させる移動装置12a,12b と、異なる二工程の処理を行うLCDパネルをそれぞれ搭載する載物台13a,13b と、載物台13a,13b をそれぞれ独立してこのレーザ光の方向に移動させる移動装置14a,14b と、載物台13a,13b をそれぞれ収容するチャンバ15a,15b とを備えるように構成する。
請求項（抜粋）：
レーザ光を出射する一台の発振装置と、該レーザ光を独立した二つの光学系に切り換える分岐ミラーと、前記二つの光学系を設置する二つの光学系支持板と、該光学系支持板をそれぞれ独立して前記レーザ光と直交する方向に移動させることが可能な二つの移動装置と、異なる二工程の処理を行うLCDパネルをそれぞれ搭載する二つの載物台と、該載物台をそれぞれ独立して前記レーザ光の方向に移動させることが可能な二つの移動装置と、前記二つの載物台をそれぞれ収容する二つのチャンバと、を備えたことを特徴とするLCD用レーザアニール装置。
IPC (5件)：
H01L 21/268
, H01L 21/20
, H01L 21/324
, H01L 29/786
, H01L 21/336
H01L 21/268 Z
, H01L 21/20
, H01L 21/324 D
, H01L 29/78 627 G
