ステージ組品の反射鏡を較正するための装置、及び方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-360053
公開番号（公開出願番号）：特開2002-267410
出願日： 2001年11月26日
公開日（公表日）： 2002年09月18日
要約：

【要約】【課題】デバイスを正確に位置決めするステージ組品を提供する。【解決手段】デバイス26を保持するデバイステーブル48と、デバイステーブル48に結合され、デバイステーブル48を移動させるステージ駆動体組品16と、デバイステーブル48に固定された第1のX反射鏡25A、及び第2のX反射鏡25Bを有して、デバイステーブル48の位置を検出する測定系20と、デバイステーブル48に固定され、第2のX反射鏡25Bに対する第1のX反射鏡25Aの相対的な位置を決定するために用いられる第1の基準マーク76、及び第2の基準マーク78とを備える。

請求項（抜粋）：

デバイスを移動させるステージ組品において、デバイスを保持するデバイステーブルと、前記デバイステーブルに結合され、前記デバイステーブルを移動させるステージ駆動体組品と、前記デバイステーブルに固定された第1のX反射鏡、及び第2のX反射鏡を有して、前記デバイステーブルの位置を検出する測定系と、前記デバイステーブルに固定され、前記第2のX反射鏡に対する前記第1のX反射鏡の相対的な位置を決定するために用いられる第1の基準マーク、及び第2の基準マークと、を備えていることを特徴とするステージ組品。

IPC (4件)：

G01B 11/00 , G12B 5/00 , H01L 21/027 , H01L 21/68

FI (5件)：

G01B 11/00 A , G12B 5/00 T , H01L 21/68 F , H01L 21/68 K , H01L 21/30 503 A

Fターム (35件)：

2F065AA03 , 2F065CC17 , 2F065FF55 , 2F065JJ05 , 2F065JJ07 , 2F065LL12 , 2F065UU03 , 2F065UU07 , 2F078CA02 , 2F078CA08 , 2F078CB02 , 2F078CB05 , 2F078CB09 , 2F078CB12 , 2F078CB15 , 2F078CC11 , 2F078CC15 , 5F031CA02 , 5F031HA57 , 5F031JA06 , 5F031JA22 , 5F031JA38 , 5F031KA06 , 5F031KA20 , 5F046BA03 , 5F046CC01 , 5F046CC03 , 5F046CC16 , 5F046CC17 , 5F046DA07 , 5F046DB05 , 5F046DB11 , 5F046DC12 , 5F046EA02 , 5F046EB03

引用特許：

審査官引用 (5件)

ステップ・アンド・リピート装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-112936 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
干渉計ミラーを有するステージ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-086762 出願人：株式会社ニコン
座標測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-068269 出願人：株式会社ニコン

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