特許

J-GLOBAL ID：200903033245525134

電子線装置

発明者： 光武 英明 ,  中村 尚人 ,  河手 信一 ,  左納 義久
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-157962
公開番号（公開出願番号）：特開平8-180821
出願日： 1995年06月23日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：

【要約】【目的】 外囲器内の間隙を維持するためのスペーサが外囲器内に配置された場合に生じる、電子線のターゲット面上での照射位置ずれを防止する。【構成】 電子放出素子が設けられた電子源11には、電子が衝突することにより発光する蛍光膜18、および電子源11から放出された電子を制御する電極であるメタルバック19が対向配置される。電子源11とメタルバック19との間には、両者間の耐大気圧構造であるスペーサ20が配置される。スペーサ20は、絶縁性部材20aの表面に半導電性膜20bを形成したもので、この半導電性膜20bが、電子源11およびメタルバック19に対して電気的に接続される。

請求項（抜粋）：

電子放出素子を有する電子源と、前記電子源より放出された電子を制御する電極と、前記電子源より放出される電子が照射されるターゲットと、前記電子源と前記電極との間に配置されたスペーサとを有する電子線装置において、前記スペーサは表面に半導電性膜を有し、前記半導電性膜が前記電子源および前記電極に対して電気的に接続されていることを特徴とする電子線装置。

IPC (5件)：

H01J 31/15 ,  H01J 1/30 ,  H01J 29/86 ,  H01J 29/88 ,  H01J 31/12

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 画像形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-212435   出願人：キヤノン株式会社
• 電子線発生装置および該電子線発生装置を用いた画像形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-144634   出願人：キヤノン株式会社

審査官引用 (1件)

• 画像形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-212435   出願人：キヤノン株式会社