特許

J-GLOBAL ID：200903033264681694

化学増幅型ポジ型レジスト組成物

発明者： 上谷 保則 ,  金 晟賢 ,  高田 佳幸
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 久保山 隆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-013848
公開番号（公開出願番号）：特開2001-209180
出願日： 2000年01月24日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：

【要約】【課題】 基板への接着性や耐ドライエッチング性に優れ、また解像度や感度などの各種レジスト性能が良好な化学増幅型ポジ型レジスト組成物を提供する。【解決手段】 式(I)及び(II)(式中、R1 は水素又はメチルを表し、R2 及びR3 は炭素数1〜4のアルキルを表し、R4 及びR5 は、水素、水酸基又はアルキルを表し、R6 及びR7 は、水素、炭素数1〜3のアルキル、炭素数1〜3のヒドロキシアルキル、カルボキシル、シアノ若しくは基-COOR8 を表し、ここにR8 はアルコール残基を表すか、又はR6 とR7 が一緒になって -C(=O)OC(=O)-で示されるカルボン酸無水物残基を形成する)で示される各重合単位並びに無水マレイン酸又は無水イタコン酸の重合単位を有し、それ自体はアルカリに不溶又は難溶であるが、酸の作用でアルカリ可溶となる樹脂、並びに酸発生剤を含有する化学増幅型ポジ型レジスト組成物。

請求項（抜粋）：

下式(I)(式中、R1 は水素又はメチルを表し、R2 及びR3 は互いに独立に、炭素数1〜4のアルキルを表し、R4 及びR5 は互いに独立に、水素、水酸基又はアルキルを表す)で示される(メタ)アクリル酸1-(アダマンチル)-1-アルキルアルキルの重合単位、下式(II)(式中、R6 及びR7 は互いに独立に、水素、炭素数1〜3のアルキル、炭素数1〜3のヒドロキシアルキル、カルボキシル、シアノ若しくは基-COOR8 を表し、ここにR8 はアルコール残基を表すか、又はR6 とR7 が一緒になって、-C(=O)OC(=O)- で示されるカルボン酸無水物残基を形成する)で示される脂環式オレフィン系の重合単位、並びに無水マレイン酸及び無水イタコン酸から選ばれる不飽和ジカルボン酸無水物の重合単位を有し、それ自体はアルカリに不溶又は難溶であるが、酸の作用でアルカリ可溶となる樹脂、並びに酸発生剤を含有することを特徴とする化学増幅型ポジ型レジスト組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (15件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA09 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB10 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-277966   出願人：ジェイエスアール株式会社
• 化学増幅型レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-279070   出願人：三星電子株式会社