特許
J-GLOBAL ID：200903083973315968

感放射線性樹脂組成物

発明者：
銅木 克次

銅木 克次 について

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村田 清

村田 清 について

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石井 寛之

石井 寛之 について

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梶田 徹

梶田 徹 について

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下川 努

下川 努 について


出願人/特許権者：
ジェイエスアール株式会社

ジェイエスアール株式会社 について


代理人 (1件)： 福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-277966
公開番号（公開出願番号）：特開2001-209181
出願日： 2000年09月13日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：
【要約】【課題】 優れたドライエッチング耐性を有し、しかも放射線に対する透明性が高く、かつ感度、解像度、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れるとともに、組成物としての保存安定性にも優れ、また基板に対する十分な接着性を保持した感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)ビシクロ[ 2.2.1 ]ヘプト-2-エンやテトラシクロ[ 4.4.0.12,5 .17,10 ]ドデカ-3-エン等の酸素原子含有極性基(例えばヒドロキシル基、ヒドロキシメチル基等)または窒素原子含有極性基(例えばシアノ基等)で置換された誘導体に由来する繰返し単位、無水マレイン酸に由来する繰返し単位、および下記式(1)、式(2)、式(3)等で代表される(メタ)アクリル酸の酸解離性エステル誘導体に由来する繰返し単位を有する樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有する。【化1】
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(1)に示す繰返し単位(I)、繰返し単位(II)および繰返し単位(III)を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有樹脂であって、該酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、AおよびBは相互に独立に水素原子または炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示し、XおよびYは相互に独立に水素原子、1価の酸素原子含有極性基または1価の窒素原子含有極性基を示し、かつXとYの少なくとも1つが該酸素原子含有極性基または該窒素原子含有極性基であるか、あるいはXとYが一緒になってジカルボン酸無水物基を形成しており、nは0〜2の整数であり、R1 は水素原子またはメチル基を示し、R2 は下記式(2)【化2】(式中、各R3 は相互に独立に炭素数4〜20の1価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体または炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示し、かつR3 の少なくとも1つが該脂環式炭化水素基もしくはその誘導体であるか、あるいは何れか2つのR3 が相互に結合して、それぞれが結合している炭素原子とともに炭素数4〜20の2価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体を形成し、残りのR3 が炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数4〜20の1価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体を示す。)で表される基を示す。〕
IPC (7件)：
G03F 7/039 601 ,  C08F220/18 ,  C08F222/06 ,  C08F232/00 ,  C08K 5/00 ,  C08L 45/00 ,  H01L 21/027
FI (7件)：
G03F 7/039 601 ,  C08F220/18 ,  C08F222/06 ,  C08F232/00 ,  C08K 5/00 ,  C08L 45/00 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (54件)：
2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BF02 ,  2H025BF11 ,  2H025BG00 ,  2H025CB10 ,  2H025CB43 ,  2H025FA17 ,  4J002BG041 ,  4J002BG051 ,  4J002BG071 ,  4J002BH021 ,  4J002BK001 ,  4J002EB116 ,  4J002EB126 ,  4J002EQ016 ,  4J002EQ036 ,  4J002EU186 ,  4J002EV216 ,  4J002EV236 ,  4J002EV246 ,  4J002EV296 ,  4J002FD200 ,  4J002FD310 ,  4J002GP03 ,  4J002HA05 ,  4J100AK32Q ,  4J100AL08R ,  4J100AR09P ,  4J100AR11P ,  4J100BA02P ,  4J100BA03P ,  4J100BA03R ,  4J100BA05P ,  4J100BA15P ,  4J100BA40P ,  4J100BA40R ,  4J100BC03P ,  4J100BC04P ,  4J100BC08R ,  4J100BC09R ,  4J100BC12R ,  4J100BC53P ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100JA38
引用特許：
審査官引用 (4件)
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