特許
J-GLOBAL ID：200903033300480579
微小表面温度分布計測法およびそのための装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮本 晴視
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-177143
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004455
出願日： 1999年06月23日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：
【要約】【目的】微小試料表面温度分布の絶対温度を検出する走査型温度分布計測方法および該方法を実施する装置の提供【構成】カンチレバーK.の先端部側とカンチレバーの片持ち側の2点のの温度差を検知して熱流束情報として検出する手段(熱流束情報検出手段)を配設したカンチレバーを試料表面に接触させ、該カンチレバーの温度を常に試料表面の温度に一致させるように前記熱流束情報に基づいたフィードバック信号を前記カンチレバーの温度制御手段に送りながら、前記カンチレバーの片持ち側の位置に設けられた温度計測手段(T.C’)によりカンチレバーの温度を検出することにより試料表面の温度情報を絶対温度として得ることを特徴とする走査型温度分布計測方法。
請求項（抜粋）：
カンチレバーの先端部側とカンチレバーの片持ち側の2点のの温度差を検知して熱流束情報として検出する手段(熱流束情報検出手段)を配設したカンチレバーを試料表面に接触させ、該カンチレバーの温度を常に試料表面の温度に一致させるように前記熱流束情報に基づいたフィードバック信号を前記カンチレバーの温度制御手段に送りながら、前記カンチレバーの片持ち側の位置に設けられた温度計測手段によりカンチレバーの温度を検出することにより試料表面の温度情報を絶対温度として得ることを特徴とする走査型温度分布計測方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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