微小熱電対付きカンチレバー及び走査型温度分布計測装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-198737
公開番号（公開出願番号）：特開平8-105801
出願日： 1995年08月03日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：

【要約】【課題】試料表面の温度分布と凹凸の形状を分離して観察する。【解決手段】支持体1と、支持体1に一端が固定されている可撓性プレート2からなるカンチレバーにおいて、可撓性プレート2に2種の金属4、5を接合してなる熱電対を設ける。

請求項（抜粋）：

支持体と、該支持体に一端が支持された可撓性プレートと、からなるカンチレバーにおいて、前記可撓性プレートには熱電対が配置されたことを特徴とする微小熱電対付きカンチレバー。

IPC (5件)：

G01J 5/48 , G01B 7/34 , G01B 21/30 , G01K 7/02 , G01N 37/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

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微小熱電対付きカンチレバー及び走査型温度分布 計測装置