特許
J-GLOBAL ID：200903033356483180

無人搬送車

発明者：
秋山 収司

秋山 収司 について

, 
中尾 敬史

中尾 敬史 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について

, 
村田機械株式会社

村田機械株式会社 について


代理人 (1件)： 矢野 寿一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-039164
公開番号（公開出願番号）：特開2003-243477
出願日： 2002年02月15日
公開日（公表日）： 2003年08月29日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 枚葉移載装置の昇降駆動部等の駆動部で発生する塵挨が、無人搬送車上のウエハに付着するのを抑える。【解決手段】 搬送車本体に設けるベース部21と、ベース部21に沿って昇降する昇降ユニット15と、昇降ユニット15に設けられるロボットハンド30M・30Sとを備えた枚葉移載装置5を搭載し、昇降ユニット15とベース部21との隙間100の空気を吸引するファン54を搬送車本体に設け、昇降ユニット15の側方を覆うカバー27を搬送車本体3に設け、該カバー27とベース部21とで、昇降ユニット15を囲う筒状体を構成すると共に、ファン54・54を設け、筒状体の外周上に設けた開口部29をファン54と連通接続した。
請求項（抜粋）：
搭載する駆動部及びその周囲から発生する塵挨を吸引除去する吸引手段を、前記駆動部のうち、少なくとも一つの駆動部の近傍に設けた、ことを特徴とする無人搬送車。
IPC (4件)：
H01L 21/68 ,  B61D 27/00 ,  B65G 49/00 ,  B65G 49/07
FI (4件)：
H01L 21/68 A ,  B61D 27/00 S ,  B65G 49/00 A ,  B65G 49/07 C
Fターム (41件)：
5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA17 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA08 ,  5F031GA24 ,  5F031GA35 ,  5F031GA36 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031GA58 ,  5F031HA13 ,  5F031HA59 ,  5F031JA02 ,  5F031JA05 ,  5F031JA14 ,  5F031JA15 ,  5F031JA17 ,  5F031JA28 ,  5F031JA29 ,  5F031JA34 ,  5F031JA35 ,  5F031JA36 ,  5F031JA50 ,  5F031KA10 ,  5F031KA13 ,  5F031KA14 ,  5F031KA15 ,  5F031LA12 ,  5F031LA13 ,  5F031NA02 ,  5F031NA14 ,  5F031NA18 ,  5F031PA16
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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