特許
J-GLOBAL ID：200903033424292223

圧電振動片の製造方法、圧電振動片、ウエハ、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計

発明者：
小林 高志

小林 高志 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツル株式会社

セイコーインスツル株式会社 について


代理人 (1件)： 松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-033069
公開番号（公開出願番号）：特開2009-194630
出願日： 2008年02月14日
公開日（公表日）： 2009年08月27日
要約：
【課題】 圧電振動片のサイズに影響されずに、周波数調整を容易且つ正確に、しかも効率良く行うと共に、低コスト化及びメンテナンス性の向上化を図る。【解決手段】 圧電板11と、一対の励振電極12、13と、一対のマウント電極15、16と、を有する圧電振動片を、ウエハSを利用して製造する方法であって、ウエハにフレーム部S1を形成すると共に、該フレーム部に複数の圧電板が連結部11aを介して連結されるように形成する外形形成工程と、複数の圧電板に一対の励振電極及び一対のマウント電極をそれぞれ形成すると共に、フレーム部上に、連結部を通じて一対のマウント電極に対してそれぞれ電気的に接続されるように一対の延出電極S2、S3を複数形成する電極形成工程と、一対の延出電極間に駆動電圧を印加して、圧電板の周波数を調整する周波数調整工程と、複数の圧電板を小片化する切断工程と、を備える圧電振動片の製造方法を提供すること。【選択図】 図11
請求項（抜粋）：
圧電板と、該圧電板の外表面上に形成され、所定の駆動電圧が印加されたときに圧電板を振動させる一対の励振電極と、圧電板の基端側に、圧電板の幅方向に沿って所定の間隔を空けて並列に並んだ状態で形成され、一対の励振電極にそれぞれ電気的に接続された一対のマウント電極と、を有する圧電振動片を、圧電材料からなるウエハを利用して一度に複数製造する方法であって、 前記ウエハをフォトリソ技術によってエッチングしてフレーム部を形成すると共に、該フレーム部に複数の前記圧電板が基端側をフレーム部に向けた状態で連結部を介して片持ち状に連結されるように形成する外形形成工程と、 前記ウエハに電極膜をパターニングして、前記複数の圧電板に対して前記一対の励振電極及び前記一対のマウント電極をそれぞれ形成すると共に、前記フレーム部上に、前記連結部を通じて前記一対のマウント電極に対してそれぞれ電気的に接続されるように一対の延出電極を複数形成する電極形成工程と、 前記一対の延出電極間に前記駆動電圧を印加して、前記圧電板を振動させながら圧電板の周波数を調整する周波数調整工程と、 前記連結部を切断して、複数の圧電板を小片化する切断工程と、 を備えることを特徴とする圧電振動片の製造方法。
IPC (8件)：
H03H 3/02 ,  H03H 9/19 ,  H03H 9/215 ,  H03H 3/04 ,  H03B 5/32 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22
FI (9件)：
H03H3/02 C ,  H03H9/19 J ,  H03H9/215 ,  H03H3/04 B ,  H03B5/32 H ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/22 Z
Fターム (34件)：
5J079AA04 ,  5J079BA43 ,  5J079BA53 ,  5J079FA01 ,  5J079HA03 ,  5J079HA06 ,  5J079HA14 ,  5J079HA22 ,  5J079HA26 ,  5J079KA02 ,  5J108AA02 ,  5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108CC06 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE11 ,  5J108EE14 ,  5J108GG03 ,  5J108GG06 ,  5J108GG10 ,  5J108GG15 ,  5J108GG16 ,  5J108GG17 ,  5J108GG20 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108KK03 ,  5J108KK04 ,  5J108KK06 ,  5J108MM08 ,  5J108MM14 ,  5J108NA03 ,  5J108NB05
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)

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