特許
J-GLOBAL ID：200903033427591949

基板の検査装置及び検査方法

発明者：
萩原 幸輝

萩原 幸輝 について

, 
佐々木 勝好

佐々木 勝好 について


出願人/特許権者：
NEC東北産業システム株式会社

NEC東北産業システム株式会社 について


代理人 (2件)： 藤巻 正憲 ,  木村 満
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-336409
公開番号（公開出願番号）：特開2007-139676
出願日： 2005年11月21日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：
【課題】基板上のパッド部におけるむら及び染み等を高倍率で検査し、更にレジスト部における不良箇所の検査が可能な基板の検査装置及び検査方法を提供する。【解決手段】基板取り付けステージ19上に基板8が配置され、撮像面が基板に平行になるように設置されたカラーカメラ1と、基板8に光を上方から照射する白色上方照明LED4及び5と、基板に光を斜方から照射する白色斜方照明LED3及び6とが、カメラ・照明取り付け板16に取り付けられて配置されている。白色上方照明LED4及び5の光量と白色斜方照明LED3及び6の光量は個別に調整され、パッド部とレジスト部を検査するのに適した光量に設定する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板が載置されるテーブルと、このテーブルの上方に撮像光軸が前記テーブルに垂直になるように配置された撮像装置と、前記テーブル上の前記基板における被検査位置に前記撮像光軸に一致するか又は前記撮像光軸を挟み前記撮像光軸に対して相互に同一の角度αで傾斜する1対の第1照射光軸に沿って第1光量の光を照射する1対の第1光源と、前記被検査位置に前記撮像光軸を挟み前記撮像光軸に対して相互に同一であって角度αより大きな角度βで傾斜する1対の第2照射光軸に沿って第2光量の光を照射する1対の第2光源と、前記第1光源の第1光量と前記第2光源の第2光量の設定値が個別に可変に格納された照明光量データ記憶部と、前記第1光源及び前記第2光源から個別又は同時に基板に光を照射して撮像された撮像画像データを記憶する画像メモリと、前記基板の良品箇所と不良品箇所とを判別するための閾値画像データが格納された閾値画像データ記憶部と、を有し、前記撮像画像データと前記閾値画像データとを画素毎に比較し、前記撮像画像データの値が前記閾値画像データの値を超えることで基板の不良箇所を判別することを特徴とする基板の検査装置。
IPC (2件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30
FI (2件)：
G01N21/956 B ,  G01B11/30 A
Fターム (30件)：
2F065AA49 ,  2F065AA61 ,  2F065BB01 ,  2F065CC01 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065GG07 ,  2F065GG13 ,  2F065GG24 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065PP25 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ42 ,  2G051AA65 ,  2G051AB14 ,  2G051BA01 ,  2G051BA04 ,  2G051BB01 ,  2G051BC01 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051DA05 ,  2G051EA14 ,  2G051EA17 ,  2G051EB01 ,  2G051EC02
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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