外観検査装置および外観検査方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：堀城之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-254678
公開番号（公開出願番号）：特開2004-093338
出願日： 2002年08月30日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：

【課題】本発明は、検査対象製品毎にパターン形状の微小差異や濃淡値の差異があっても誤判定せずに、また、良品の規格内である異物付着やキズなどの過検出やカメラノイズ等の影響によっても誤判定せずに、良品の規格からはずれた検出すべき不良品のみを精度良く検出することができる外観検査装置および外観検査方法を提供することを課題とする。【解決手段】統計処理部4は、濃淡画像データ記憶部3に記憶された複数の濃淡画像データから画素毎に基準画素値とばらつき値とを算出し、各画素毎に算出された基準画素値とばらつき値とから基準画像データとばらつきデータとを作成する。判定部7は、ばらつきデータから差画像良品範囲上限データと差画像良品範囲下限データとを作成し、差画像データが差画像良品範囲上限データおよび差画像良品範囲下限データの範囲内であるか否かを画素毎に判定することで、検査対象製品2の良否判定を行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基準画像データを用いて検査対象物の良否判定を行う外観検査装置であって、前記検査対象物の外観を濃淡値で表す濃淡画像データを入力する画像データ入力手段と、複数の前記検査対象物のそれぞれの外観を濃淡値で表す複数の濃淡画像データから前記基準画像データとばらつきデータとを統計データとして算出する統計処理手段と、該統計処理手段によって算出された前記統計データと予め設定されている良否判別データと前記画像データ入力手段によって入力された前記検査対象物の前記濃淡画像データとから良品であるか否かを画素毎に判定することにより前記検査対象物の良否判定を行う判定手段を含むことを特徴とする外観検査装置。

IPC (4件)：

G01N21/956 , G06T1/00 , G06T7/00 , H01L21/66

FI (4件)：

G01N21/956 A , G06T1/00 305A , G06T7/00 300E , H01L21/66 J

Fターム (34件)：

2G051AA51 , 2G051AA61 , 2G051AB02 , 2G051AC21 , 2G051CA04 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2G051EA16 , 2G051EB02 , 2G051EC02 , 2G051ED08 , 2G051ED22 , 2G051ED23 , 4M106AA01 , 4M106CA38 , 4M106CA41 , 4M106DB04 , 4M106DB21 , 5B057AA03 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB09 , 5B057DC23 , 5B057DC32 , 5L096AA06 , 5L096BA03 , 5L096FA17 , 5L096FA37 , 5L096FA39 , 5L096GA08 , 5L096HA07

引用特許：

審査官引用 (7件)

欠陥検査装置およびその方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-206078 出願人：株式会社日立製作所, 日立電子エンジニアリング株式会社
特開平4-353452
特公昭61-038907

全件表示

前のページに戻る