特許
J-GLOBAL ID：200903046997365262

外観検査装置および外観検査方法

発明者：
秋山 吉宏

秋山 吉宏 について


出願人/特許権者：
株式会社サキコーポレーション

株式会社サキコーポレーション について


代理人 (1件)： 森下 賢樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-092874
公開番号（公開出願番号）：特開2004-301574
出願日： 2003年03月28日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：
【課題】基板を検査するのための検査項目やパラメータを設定する作業は煩雑であり、検査自体にも時間がかかる。【解決手段】試験ユニット14の走査ヘッド16は基板1をラインセンサ34により走査して基板1の画像データ54を取得し、メインユニット12の画像メモリ44内に検査画像41として書き込む。画像メモリ44には、検査済みの良品の検査画像41が基準画像43として記憶されている。解析ユニット46は、検査画像41と基準画像43を比較して、画像上の特徴が一致するかどうかを調べ、相違があれば、基板1を不良品であると判定し、そうでなければ、良品であると判定する。基板1が良品であると判定されたとき、良品の検査画像41が基準画像43に置き換えられる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被検査体の上面からの反射光を検知する一次元センサを有し、この一次元センサの走査により前記被検査体の上面全体にわたる検査画像を取得する走査ヘッドと、 前記走査ヘッドにより取得された前記被検査体の上面全体の画像を検査画像として格納する画像メモリと、 前記検査画像を基準画像と照合することにより、前記被検査体の良否を判定する解析ユニットとを含み、 前記基準画像は、前記画像メモリ内に保存された、良品の被検査体の上面全体にわたる画像であることを特徴とする外観検査装置。
IPC (3件)：
G01N21/956 ,  G06T1/00 ,  H05K13/08
FI (3件)：
G01N21/956 B ,  G06T1/00 305D ,  H05K13/08 D
Fターム (25件)：
2G051AA61 ,  2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051AB14 ,  2G051BA01 ,  2G051BA20 ,  2G051CA03 ,  2G051DA07 ,  2G051EA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051ED08 ,  2G051ED11 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA29 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB06 ,  5B057DB09 ,  5B057DC16 ,  5B057DC25 ,  5B057DC33 ,  5B057DC36
引用特許：
審査官引用 (8件)
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