走査型電子顕微鏡

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-273257
公開番号（公開出願番号）：特開平10-125271
出願日： 1996年10月16日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】走査型電子顕微鏡による半導体ウエハ上の回路パターンの検査において、チャージアップによる二次電子像の画質変動を回避する。【解決手段】チャージアップ状態に応じて最適なリターディング電圧を自動的に設定する機構を設ける。

請求項（抜粋）：

電子銃,上記電子銃から出た電子線を収束して試料に照射するための電子光学系,上記収束電子線を上記試料の観察領域で走査状に移動させるための走査機構,上記試料の上記収束電子線の照射部分から放出される電子を検出するための検出機構,上記走査機構を制御して上記検出機構からの信号またはそれに所定の演算を施した信号の走査像を生成するための走査像生成機構から構成された走査型電子顕微鏡において、上記試料にリターディング電圧を印加するためのリターディング電圧印加機構,上記試料のチャージアップ状態を検知するためのチャージアップ検知機構,上記チャージアップ検知機構からのチャージアップ状態に関する情報を基に最適なリターディング電圧を決定してそれを上記試料に印加するよう上記リターディング電圧印加機構を制御するリターディング電圧制御機構を備え、上記試料の上記走査像取得時のチャージアップ状態で最適なリターディング電圧を上記試料に自動的に印加することを特徴とする走査型電子顕微鏡。

IPC (5件)：

H01J 37/28 , G01B 15/00 , H01J 37/20 , H01J 37/244 , H01L 21/66

FI (5件)：

H01J 37/28 B , G01B 15/00 B , H01J 37/20 H , H01J 37/244 , H01L 21/66 J

引用特許：

審査官引用 (15件)

走査型電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-005145 出願人：株式会社東芝
特開平1-201110
特開平4-229541

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